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講演抄録/キーワード
講演名 2011-12-16 13:55
スパッタリング法による希土類ドープTa2O5薄膜の作製とその発光特性の評価
三浦健太・○新井勇輝花泉 修群馬大OPE2011-143 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2011-143
抄録 (和) スパッタリング法によりEuドープTa2O5薄膜を成膜し,アニール後,波長600nm, 620nm, 650nm及び700nm付近の4つの発光ピークが発現することを確認した.特に波長620nm付近の発光ピークが優勢であり,肉眼では赤色もしくは橙色の発光として観察できた.更に,4つの発光ピークの強度のアニール温度依存性を調べ,波長620nm付近の発光ピークについては,アニール温度700℃とした場合に強度が最大となることがわかった. 
(英) Eu-doped Ta2O5 films were prepared by using rf magnetron sputtering. Visible photoluminescence was obtained from the films after annealing under excitation with a He-Cd laser (wavelength: 325 nm). Four peaks having wavelengths around 600, 620, 650 and 700 nm were observed from the films annealed at 600-900 degrees centigrade. The strongest intensity of the 620-nm peak was obtained from the film annealed at 700 degrees centigrade for 20 min.
キーワード (和) Ta2O5 / Eu / スパッタリング / アニール / 可視発光 / / /  
(英) Ta2O5 / Eu / Sputtering / Annealing / Visible-light Emission / / /  
文献情報 信学技報, vol. 111, no. 358, OPE2011-143, pp. 13-16, 2011年12月.
資料番号 OPE2011-143 
発行日 2011-12-09 (OPE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード OPE2011-143 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2011-143

研究会情報
研究会 OPE  
開催期間 2011-12-16 - 2011-12-16 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 光パッシブコンポネント(フィルタ、コネクタ、MEMS)、シリコンフォトニクス、光ファイバ、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OPE 
会議コード 2011-12-OPE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) スパッタリング法による希土類ドープTa2O5薄膜の作製とその発光特性の評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Light-emitting properties of rare-earth-doped Ta2O5 thin films fabricated by using rf sputtering 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) Ta2O5 / Ta2O5  
キーワード(2)(和/英) Eu / Eu  
キーワード(3)(和/英) スパッタリング / Sputtering  
キーワード(4)(和/英) アニール / Annealing  
キーワード(5)(和/英) 可視発光 / Visible-light Emission  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 健太 / Kenta Miura / ミウラ ケンタ
第1著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 新井 勇輝 / Yuki Arai / アライ ユウキ
第2著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 花泉 修 / Osamu Hanaizumi / ハナイズミ オサム
第3著者 所属(和/英) 群馬大学 (略称: 群馬大)
Gunma University (略称: Gunma Univ.)
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講演者 第2著者 
発表日時 2011-12-16 13:55:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 OPE 
資料番号 OPE2011-143 
巻番号(vol) vol.111 
号番号(no) no.358 
ページ範囲 pp.13-16 
ページ数
発行日 2011-12-09 (OPE) 


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