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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-03-16 11:15 CMOSチップ上周期配列ダミーメタルフィルの等価異方性媒質定数の抽出 ○平野拓一・岡田健一・広川二郎・安藤 真（東工大）  AP2011-208 |
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| 抄録 | （和） | 単位セルの固有値解析を用いたCMOSチップ上周期配列ダミーメタルフィルの等価異方性媒質定数の抽出を行った。60GHzにおいて自空間波長5mmの1/1000の5m角のダミーメタルフィルを25%の面積密度で配置した場合について検討した。ダミーメタルフィルは人工誘電体として振る舞い、等価比誘電率は間の絶縁体SiO2よりも大きくなることがわかった。また、ダミーメタルフィルの損失、すなわちアルミニウムの導電率を考慮したので、等価誘電正接も得られた。有限長のダミーメタルフィル入り平行平板導波路の実モデルおよび等価媒質モデルの解析値の比較から、等価媒質定数の有効性が確認できた。 |
| （英） | Equivalent anisotropic material property of periodically arranged dummy metal fills in a CMOS chip is extracted using eigenmode analysis of a unit-cell. 5m-squared dummy metal fills, whose size is 1/1000 of the free space wavelength at 60GHz, is considered. It is found that dummy metal fills act as artificial dielectric material, and its equivalent dielectric constant becomes larger than that of filling insulator SiO2. The equivalent loss tangent is also obtained because the conductivity of the dummy metal fills, aluminum, is considered. The validity of the equivalent material property is confirmed by comparing the calculated results of the real model and equivalent material property model of a finite-length parallel-plate waveguide filled with dummy metal fills. | |
| キーワード | （和） | ダミーメタルフィル / CMOS / 等価媒質定数 / 異方性 / 抽出 / 固有値解析 / 周期構造 / |
| （英） | Dummy metal fills / CMOS / Equivalent material property / Anisotropic / Extraction / Eigenmode analysis / Periodic structure / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 111, no. 487, AP2011-208, pp. 55-60, 2012年3月. | |
| 資料番号 | AP2011-208 | |
| 発行日 | 2012-03-08 (AP) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | AP2011-208 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | AP |
| 開催期間 | 2012-03-15 - 2012-03-16 |
| 開催地（和） | 熱海市中央公民館 |
| 開催地（英） | Chuo public hall (Atami City) |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | Antennas and Propagation |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | AP |
| 会議コード | 2012-03-AP |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | CMOSチップ上周期配列ダミーメタルフィルの等価異方性媒質定数の抽出 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Extraction of Equivalent Anisotropic Material Property of Periodically Arranged Dummy Metal Fills in a CMOS chip |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダミーメタルフィル / Dummy metal fills |
| キーワード(2)（和/英） | CMOS / CMOS |
| キーワード(3)（和/英） | 等価媒質定数 / Equivalent material property |
| キーワード(4)（和/英） | 異方性 / Anisotropic |
| キーワード(5)（和/英） | 抽出 / Extraction |
| キーワード(6)（和/英） | 固有値解析 / Eigenmode analysis |
| キーワード(7)（和/英） | 周期構造 / Periodic structure |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平野 拓一 / Takuichi Hirano / ヒラノ タクイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 健一 / Kenichi Okada / オカダ ケンイチ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 広川 二郎 / Jiro Hirokawa / ヒロカワ ジロウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安藤 真 / Makoto Ando / アンドウ マコト |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-03-16 11:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | AP |
| 資料番号 | AP2011-208 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | no.487 |
| ページ範囲 | pp.55-60 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2012-03-08 (AP) |
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