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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-04-27 16:30 青色半導体レーザアニールによるポリイミド基板上薄膜シリコンの結晶化 ○岡田竜弥・ムジラネザ ジャン ドュ デュ・白井克弥・鈴木俊治・野口 隆（琉球大）・松島英紀・橋本隆夫・荻野義明・佐保田英司（日立コンピュータ機器）  SDM2012-8 OME2012-8 |
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| 抄録 | （和） | 色半導体レーザを用いて、ポリイミド上に形成した薄膜シリコンの結晶化を試みた。レーザ照射によって表面平坦性を保ったまま結晶化に成功し、粒径50 nm程度の均一な結晶粒をほぼ100%の結晶化率で得られることが分かった。 |
| （英） | Crystallization of a-Si films on polyimide substrate was achieved using Blue Multi-Laser Diode Annealing. Surface roughness of crystallized films was smooth, and the crystallinity was almost 100% with uniform grains size of ~50 nm. | |
| キーワード | （和） | 青色半導体レーザ / スパッタ / TFT / / / / / |
| （英） | Blue Multi-Laser Diode Annealing / Sputtering / TFT / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 18, SDM2012-8, pp. 37-39, 2012年4月. | |
| 資料番号 | SDM2012-8 | |
| 発行日 | 2012-04-20 (SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2012-8 OME2012-8 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM OME |
| 開催期間 | 2012-04-27 - 2012-04-28 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawa-Ken-Seinen-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Advanced Thin-Film Devices (Si, Compound, Organic) and Related Topics |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2012-04-SDM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 青色半導体レーザアニールによるポリイミド基板上薄膜シリコンの結晶化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Crystallization of Si Thin Film on Poly-Imide Substrate by Semiconductor Blue Multi-Laser Diode Annealing |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 青色半導体レーザ / Blue Multi-Laser Diode Annealing |
| キーワード(2)（和/英） | スパッタ / Sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | TFT / TFT |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada / オカダ タツヤ |
| 第1著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | ムジラネザ ジャン ドュ デュ / Jean de Dieu Mugiraneza / ムジラネザ ジャン ドュ デュ |
| 第2著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 白井 克弥 / Katsuya Shirai / シライ カツヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 俊治 / Toshiharu Suzuki / スズキ トシハル |
| 第4著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野口 隆 / Takashi Noguchi / ノグチ タカシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松島 英紀 / Hideki Matsushima / マツシマ ヒデキ |
| 第6著者 所属（和/英） | 日立コンピュータ機器(株) (略称： 日立コンピュータ機器) Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd. (略称： Hitachi CP) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 橋本 隆夫 / Takao Hashimoto / ハシモト タカオ |
| 第7著者 所属（和/英） | 日立コンピュータ機器(株) (略称： 日立コンピュータ機器) Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd. (略称： Hitachi CP) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荻野 義明 / Yoshiaki Ogino / オギノ ヨシアキ |
| 第8著者 所属（和/英） | 日立コンピュータ機器(株) (略称： 日立コンピュータ機器) Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd. (略称： Hitachi CP) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐保田 英司 / Eiji Sahota / サホタ エイジ |
| 第9著者 所属（和/英） | 日立コンピュータ機器(株) (略称： 日立コンピュータ機器) Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd. (略称： Hitachi CP) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-04-27 16:30:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2012-8, OME2012-8 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.18(SDM), no.19(OME) |
| ページ範囲 | pp.37-39 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2012-04-20 (SDM, OME) |
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