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講演抄録/キーワード
講演名 2012-04-27 16:30
青色半導体レーザアニールによるポリイミド基板上薄膜シリコンの結晶化
岡田竜弥ムジラネザ ジャン ドュ デュ白井克弥鈴木俊治野口 隆琉球大)・松島英紀橋本隆夫荻野義明佐保田英司日立コンピュータ機器SDM2012-8 OME2012-8 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2012-8 OME2012-8
抄録 (和) 色半導体レーザを用いて、ポリイミド上に形成した薄膜シリコンの結晶化を試みた。レーザ照射によって表面平坦性を保ったまま結晶化に成功し、粒径50 nm程度の均一な結晶粒をほぼ100%の結晶化率で得られることが分かった。 
(英) Crystallization of a-Si films on polyimide substrate was achieved using Blue Multi-Laser Diode Annealing. Surface roughness of crystallized films was smooth, and the crystallinity was almost 100% with uniform grains size of ~50 nm.
キーワード (和) 青色半導体レーザ / スパッタ / TFT / / / / /  
(英) Blue Multi-Laser Diode Annealing / Sputtering / TFT / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 112, no. 18, SDM2012-8, pp. 37-39, 2012年4月.
資料番号 SDM2012-8 
発行日 2012-04-20 (SDM, OME) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
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研究会情報
研究会 SDM OME  
開催期間 2012-04-27 - 2012-04-28 
開催地(和) 沖縄県青年会館 
開催地(英) Okinawa-Ken-Seinen-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術および一般 
テーマ(英) Advanced Thin-Film Devices (Si, Compound, Organic) and Related Topics 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2012-04-SDM-OME 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 青色半導体レーザアニールによるポリイミド基板上薄膜シリコンの結晶化 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Crystallization of Si Thin Film on Poly-Imide Substrate by Semiconductor Blue Multi-Laser Diode Annealing 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 青色半導体レーザ / Blue Multi-Laser Diode Annealing  
キーワード(2)(和/英) スパッタ / Sputtering  
キーワード(3)(和/英) TFT / TFT  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada / オカダ タツヤ
第1著者 所属(和/英) 琉球大学 (略称: 琉球大)
University of the Ryukyus (略称: Univ. Ryukyus)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) ムジラネザ ジャン ドュ デュ / Jean de Dieu Mugiraneza / ムジラネザ ジャン ドュ デュ
第2著者 所属(和/英) 琉球大学 (略称: 琉球大)
University of the Ryukyus (略称: Univ. Ryukyus)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 白井 克弥 / Katsuya Shirai / シライ カツヤ
第3著者 所属(和/英) 琉球大学 (略称: 琉球大)
University of the Ryukyus (略称: Univ. Ryukyus)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 鈴木 俊治 / Toshiharu Suzuki / スズキ トシハル
第4著者 所属(和/英) 琉球大学 (略称: 琉球大)
University of the Ryukyus (略称: Univ. Ryukyus)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 野口 隆 / Takashi Noguchi / ノグチ タカシ
第5著者 所属(和/英) 琉球大学 (略称: 琉球大)
University of the Ryukyus (略称: Univ. Ryukyus)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 松島 英紀 / Hideki Matsushima / マツシマ ヒデキ
第6著者 所属(和/英) 日立コンピュータ機器(株) (略称: 日立コンピュータ機器)
Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd. (略称: Hitachi CP)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 橋本 隆夫 / Takao Hashimoto / ハシモト タカオ
第7著者 所属(和/英) 日立コンピュータ機器(株) (略称: 日立コンピュータ機器)
Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd. (略称: Hitachi CP)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) 荻野 義明 / Yoshiaki Ogino / オギノ ヨシアキ
第8著者 所属(和/英) 日立コンピュータ機器(株) (略称: 日立コンピュータ機器)
Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd. (略称: Hitachi CP)
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) 佐保田 英司 / Eiji Sahota / サホタ エイジ
第9著者 所属(和/英) 日立コンピュータ機器(株) (略称: 日立コンピュータ機器)
Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd. (略称: Hitachi CP)
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講演者 第1著者 
発表日時 2012-04-27 16:30:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 SDM 
資料番号 SDM2012-8, OME2012-8 
巻番号(vol) vol.112 
号番号(no) no.18(SDM), no.19(OME) 
ページ範囲 pp.37-39 
ページ数
発行日 2012-04-20 (SDM, OME) 


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