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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-07-27 10:30 隣接チャネル間電気干渉を抑制可能な波長選択スイッチ（WSS）用MEMSミラーアレイ ○碓氷光男・内山真吾・橋本 悦・阪田知巳・下山展弘・葉玉恒一・松浦伸昭・石井雄三・松浦 徹（NTT）  MW2012-48 OPE2012-41 EST2012-30 MWP2012-29 |
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| 抄録 | （和） | 波長選択スイッチ（WSS）用として、高フィルファクタで狭ピッチ・多チャネル化に適する二軸回転可能なMEMSミラーアレイを開発した。ミラーアレイの隣接チャネル間で発生する電気的干渉を抑制するため、シミュレーションによる解析を行い、ミラー駆動用アクチュエータ部に電界分離用電極を配置する電極構造を設計した。開発した小型気密封止パッケージ構造を適用し、試作した50chミラーアレイモジュールにおいて、良好な駆動特性、および電気干渉低減効果を確認した。 |
| （英） | We developed a new two-axis microelectromechanical systems (MEMS) mirror array for wavelength selective switches. This MEMS mirror array has a suitable structure for a narrow pitch and high fill factor. On the basis of simulation results, we designed a new electrode structure to reduce electrical interference between adjacent channels. To fabricate the MEMS mirror array module, we developed a small-sealing-packaging technology. We fabricated 50-ch-MEMS mirror array modules using this packaging technology, and confirmed the electrical interference reduction in the fabricated MEMS mirror array modules. | |
| キーワード | （和） | 波長選択スイッチ（WSS） / MEMS / ミラーアレイ / 電気干渉 / モジュール化技術 / / / |
| （英） | Wavelength selective switch (WSS) / MEMS / Mirror array / Electrical Interference / Packaging Technology / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 157, EST2012-30, pp. 137-142, 2012年7月. | |
| 資料番号 | EST2012-30 | |
| 発行日 | 2012-07-19 (MW, OPE, EST, MWP) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2012-48 OPE2012-41 EST2012-30 MWP2012-29 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MWP OPE MW EMT EST IEE-EMT |
| 開催期間 | 2012-07-26 - 2012-07-27 |
| 開催地（和） | 北海道大学 |
| 開催地（英） | Hokkaido Univ. |
| テーマ（和） | マイクロ波フォトニクス技術、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EST |
| 会議コード | 2012-07-MWP-OPE-MW-EMT-EST-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 隣接チャネル間電気干渉を抑制可能な波長選択スイッチ（WSS）用MEMSミラーアレイ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A MEMS mirror array for wavelength selective switches with a structure to suppress electrical interference between adjacent channels |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 波長選択スイッチ（WSS） / Wavelength selective switch (WSS) |
| キーワード(2)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | ミラーアレイ / Mirror array |
| キーワード(4)（和/英） | 電気干渉 / Electrical Interference |
| キーワード(5)（和/英） | モジュール化技術 / Packaging Technology |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 碓氷 光男 / Mitsuo Usui / ウスイ ミツオ |
| 第1著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内山 真吾 / Shingo Uchiyama / ウチヤマ シンゴ |
| 第2著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 橋本 悦 / Etsu Hashimoto / ハシモト エツ |
| 第3著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 阪田 知巳 / Tomomi Sakata / サカタ トモミ |
| 第4著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下山 展弘 / Nobuhiro Shimoyama / シモヤマ ノブヒロ |
| 第5著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 葉玉 恒一 / Koichi Hadama / ハダマ コウイチ |
| 第6著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松浦 伸昭 / Nobuaki Matsuura / マツウラ ノブアキ |
| 第7著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石井 雄三 / Yuzo Ishii / イシイ ユウゾウ |
| 第8著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松浦 徹 / Tohru Matsuura / マツウラ トオル |
| 第9著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-07-27 10:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EST |
| 資料番号 | MW2012-48, OPE2012-41, EST2012-30, MWP2012-29 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.155(MW), no.156(OPE), no.157(EST), no.158(MWP) |
| ページ範囲 | pp.137-142 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2012-07-19 (MW, OPE, EST, MWP) |
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