講演抄録/キーワード |
講演名 |
2012-08-08 15:45
インクジェット法で形成した銀ナノ粒子電極を有するボトムコンタクト型有機TFTのコンタクト抵抗 ○小林 悠・竹田泰典・南木 創・菅野 亮・福田憲二郎・熊木大介・時任静士(山形大) CPM2012-39 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2012-39 |
抄録 |
(和) |
近年、低温(150 ℃以下)で低抵抗な導電膜が得られる銀ナノ粒子インクの開発が進んでおり、この印刷電極を有機半導体と組み合わせた集積回路に関する研究開発が活発に行われている[1]。集積回路等の高性能化には印刷電極と有機半導体とのコンタクト抵抗の低減が非常に重要となる。本研究では、塗布法で電極を形成できる銀ナノ粒子インクを用い、インクジェットによって電極配線を形成し有機薄膜トランジスタ(TFT)を作製し、印刷電極と有機半導体層のコンタクト抵抗の変化をTLM法を用いて評価した。その結果VGが-20 Vにおいて113 kWcmと低いコンタクト抵抗を示した。 |
(英) |
Recently, the development of Silver nanoparticle ink in low-sintering-temperature and low-resistivity are progressing. There are many research reports on integrated circuits, which is produced by the printed electrode and organic semiconductor[1]. Reduction of contact resistance between the printed electrode and organic semiconductor is very important to higher performance of integrated circuits. In this study, to prepare organic thin film transistor (TFTs) source/drain electrodes formed by a inkjet printing using the silver nanoparticle ink. Evaluation of this device change in contact resistance of between the printed electrode and organic semiconductor using the TLM method. As a result, showed a low contact resistance of 113 kΩcm at VG=-20 V. |
キーワード |
(和) |
有機トランジスタ / 銀ナノ粒子 / インクジェット / / / / / |
(英) |
Organic Transistor / Ag nanoparticle / Inkjet / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 112, no. 175, CPM2012-39, pp. 27-29, 2012年8月. |
資料番号 |
CPM2012-39 |
発行日 |
2012-08-01 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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