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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-08-08 14:55 塩素還元化学気相成長法を用いたSiの低温薄膜形成 ○柴田 明・渡邉雄仁・鹿又健作・鈴木貴彦・廣瀬文彦（山形大）  CPM2012-37 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2012-37 |
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| 抄録 | （和） | Si薄膜は、太陽電池や薄膜トランジスタの主材料であり、精製コストの低減が求められている。我々は塩化金属還元化学気相成長(Metal-Chloride-Reduction CVD：MCR-CVD)法によって、Niシリサイド、Hfシリサイド、タングステンなどの金属膜の成膜を行ってきた。今回、その技術を活用し、固体Siと塩素プラズマを用いることで、低温においてSi薄膜を形成したので報告する。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 真空 / プラズマ / / / / / / |
| （英） | CVD / Cl / Si / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 175, CPM2012-37, pp. 21-22, 2012年8月. | |
| 資料番号 | CPM2012-37 | |
| 発行日 | 2012-08-01 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2012-37 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2012-37 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2012-08-08 - 2012-08-09 |
| 開催地（和） | 山形大学工学部100周年記念会館セミナー室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2012-08-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 塩素還元化学気相成長法を用いたSiの低温薄膜形成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Low temperature thin film deposition of Si by using Chloride Reduction Chemical Vapor Deposition |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 真空 / CVD |
| キーワード(2)（和/英） | プラズマ / Cl |
| キーワード(3)（和/英） | / Si |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柴田 明 / Akira Shibata / シバタ アキラ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡邉 雄仁 / Takehito Watanabe / ワタナベ タケヒト |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 貴彦 / Takahiko Suzuki / スズキ タカヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-08-08 14:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2012-37 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.175 |
| ページ範囲 | pp.21-22 |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2012-08-01 (CPM) |
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