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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-08-09 09:00 FeおよびFeSi蒸着材料からの固相反応法による鉄シリサイド薄膜の作製と評価 ○籾山克章・鹿又健作・久保田 繁・廣瀬文彦（山形大）  CPM2012-43 |
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| 抄録 | （和） | 蒸着材料としてFeおよびFeSi化合物を用いて固相反応により厚膜β-FeSi2層の作製を試みた。固相反応の過程を反射高速電子線回折(Reflection High Energy Electron Diffraction:RHEED)で詳細に調査した。β-FeSi2薄膜成長において、FeとSiの相互拡散を促進するために、Fe蒸着源とは別にFeSi化合物を蒸着源として利用し、さまざまな初期蒸着量で固相反応を観察した。FeSiを使用した場合、固相反応によるβ-FeSi2の成長温度を390Kまで下げられることをRHEEDで確認した。FeおよびFeSi化合物蒸着材料を利用した場合の固相反応機構についてそれぞれ議論する。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | β-FeSi2 / silicide / solid phase growth / RHEED / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 175, CPM2012-43, pp. 41-44, 2012年8月. | |
| 資料番号 | CPM2012-43 | |
| 発行日 | 2012-08-01 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2012-43 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2012-08-08 - 2012-08-09 |
| 開催地（和） | 山形大学工学部100周年記念会館セミナー室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2012-08-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | FeおよびFeSi蒸着材料からの固相反応法による鉄シリサイド薄膜の作製と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and evaluation of iron silicide films using solid phase growth from Fe and FeSi evaporation source |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / β-FeSi2 |
| キーワード(2)（和/英） | / silicide |
| キーワード(3)（和/英） | / solid phase growth |
| キーワード(4)（和/英） | / RHEED |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 籾山 克章 / Katsuaki Momiyama / モミヤマ カツアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久保田 繁 / Shigeru Kubota / クボタ シゲル |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-08-09 09:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2012-43 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.175 |
| ページ範囲 | pp.41-44 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2012-08-01 (CPM) |
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