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講演抄録/キーワード
講演名 2012-08-09 09:00
FeおよびFeSi蒸着材料からの固相反応法による鉄シリサイド薄膜の作製と評価
籾山克章鹿又健作久保田 繁廣瀬文彦山形大CPM2012-43 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2012-43
抄録 (和) 蒸着材料としてFeおよびFeSi化合物を用いて固相反応により厚膜β-FeSi2層の作製を試みた。固相反応の過程を反射高速電子線回折(Reflection High Energy Electron Diffraction:RHEED)で詳細に調査した。β-FeSi2薄膜成長において、FeとSiの相互拡散を促進するために、Fe蒸着源とは別にFeSi化合物を蒸着源として利用し、さまざまな初期蒸着量で固相反応を観察した。FeSiを使用した場合、固相反応によるβ-FeSi2の成長温度を390Kまで下げられることをRHEEDで確認した。FeおよびFeSi化合物蒸着材料を利用した場合の固相反応機構についてそれぞれ議論する。 
(英) (Not available yet)
キーワード (和) / / / / / / /  
(英) β-FeSi2 / silicide / solid phase growth / RHEED / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 112, no. 175, CPM2012-43, pp. 41-44, 2012年8月.
資料番号 CPM2012-43 
発行日 2012-08-01 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2012-43 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2012-43

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2012-08-08 - 2012-08-09 
開催地(和) 山形大学工学部100周年記念会館セミナー室 
開催地(英)  
テーマ(和) 電子部品・材料,一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2012-08-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) FeおよびFeSi蒸着材料からの固相反応法による鉄シリサイド薄膜の作製と評価 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication and evaluation of iron silicide films using solid phase growth from Fe and FeSi evaporation source 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) / β-FeSi2  
キーワード(2)(和/英) / silicide  
キーワード(3)(和/英) / solid phase growth  
キーワード(4)(和/英) / RHEED  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 籾山 克章 / Katsuaki Momiyama / モミヤマ カツアキ
第1著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク
第2著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 久保田 繁 / Shigeru Kubota / クボタ シゲル
第3著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ
第4著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2012-08-09 09:00:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2012-43 
巻番号(vol) vol.112 
号番号(no) no.175 
ページ範囲 pp.41-44 
ページ数
発行日 2012-08-01 (CPM) 


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