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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-08-09 11:45 陽極酸化TiO2ナノチューブ形成過程に及ぼす電解液組成の影響 ○小島領太・木村康男・庭野道夫（東北大）  CPM2012-49 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2012-49 |
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| 抄録 | （和） | 酸化チタン(TiO2)ナノチューブは、太陽電池、ガスセンサ等の材料として注目されている。本研究では、陽極酸化を用いてTiO2ナノチューブ膜の基板上への直接形成を行った。TiO2ナノチューブの特性(形状、膜厚、孔径、周期等)は陽極酸化条件に強く依存するため、それらの影響を解明することが重要である。電解液中に含まれる水がTiO2ナノチューブの形状に影響を与えることが報告されているが、その理解はまだ不十分である。そこで、本研究では、電解液としてフッ化アンモニウム(NH4F)と水を含むエチレングリコール溶液を用いてSi熱酸化膜上に堆積された金属Ti膜を陽極酸化し、電解液組成がTiO2ナノチューブの形成過程に与える影響を調べた。その結果、水の濃度に対するNH4Fの相対濃度がTiO2ナノチューブの形状及び陽極酸化速度に影響を与える重要なパラメータであることが分かった。 |
| （英） | Titanium oxide (TiO2) nanotubes have attracted great interest as nanomaterials for solar cells, gas sensors and so on. In this study, we fabricated TiO2 nanotube films on substrates by anodization. Since structural properties of nanotubes depend strongly on anodization conditions such as the composition of electrolyte and the anodic potential, it is important to evaluate influences of them. Although it has been revealed that water dissolved in the organic electrolyte has significant effects on the shape of anodic TiO2 nanotubes, the influence of water dissolved in the electrolyte on the anodization process of Ti is not fully understood. In this study, we have studied TiO2 nanotubes formed by anodizing a metallic Ti film deposited on a silicon dioxide layer in an ethylene glycol solution of water and ammonium fluoride (NH4F). We have systematically examined the influence of water and NH4F contents on the nanotube formation and the morphology of formed nanotubes. In the result, it was suggested that the ratio of the NH4F concentration to the water concentration is an important factor that influences the formation process of anodic TiO2 nanotubes. | |
| キーワード | （和） | 酸化チタンナノチューブ / 陽極酸化 / / / / / / |
| （英） | titanium oxide nanotube / anodization / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 175, CPM2012-49, pp. 71-75, 2012年8月. | |
| 資料番号 | CPM2012-49 | |
| 発行日 | 2012-08-01 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2012-49 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2012-49 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2012-08-08 - 2012-08-09 |
| 開催地（和） | 山形大学工学部100周年記念会館セミナー室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2012-08-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 陽極酸化TiO2ナノチューブ形成過程に及ぼす電解液組成の影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Influence of electrolyte composition on the formation process of anodic titanium oxide nanotubes |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化チタンナノチューブ / titanium oxide nanotube |
| キーワード(2)（和/英） | 陽極酸化 / anodization |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小島 領太 / Ryota Kojima / コジマ リョウタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 (略称： 東北大) Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University (略称： RIEC, Tohoku Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木村 康男 / Yasuo Kimura / キムラ ヤスオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 (略称： 東北大) Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University (略称： RIEC, Tohoku Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 庭野 道夫 / Michio Niwano / ニワノ ミチオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 (略称： 東北大) Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University (略称： RIEC, Tohoku Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-08-09 11:45:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2012-49 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.175 |
| ページ範囲 | pp.71-75 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2012-08-01 (CPM) |
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