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講演抄録/キーワード
講演名 2012-11-16 13:05
傾斜機能を持つフッ素系蒸着重合膜による反射防止効果
泉田和夫ミクロ技研)・松田 剛河西 匠田中邦明臼井博明東京農工大OME2012-55 OPE2012-127 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2012-55 OPE2012-127
抄録 (和) 2-(パーフルオロヘキシル)エチルアクリレート(Rf-6)モノマーを,Arイオンアシストによる蒸着重合(IAD)法により蒸着し,フッ素系高分子薄膜を形成した.成膜特性はイオン加速電圧Vaによって大きく影響を受ける.Vaを増加することで表面エネルギーが増加し,成膜と基材間の密着性は改善され,屈折率は増加する傾向が見られた.成膜形成時にVaを300 Vから連続して0 Vまで可変することで高い密着強度と低い表面エネルギー,低い光学反射率のすべての特徴を満足する傾斜機能を持つ成膜を達成した.その結果良好な密着力と低い表面エネルギーを持つ反射防止膜を形成した.傾斜機能を持つフッ素系高分子を単層膜形成することで,ガラスの光学反射率を,波長400 nmで4.9%から0.55%まで減少できた.この膜の表面エネルギーは,8.5 mJ/m2であった. 
(英) Fluoropolymer thin films were prepared by the ion-assisted vapor deposition polymerization (IAD) of 2- (peruorohexyl) ethylacrylate (Rf-6) under Ar ion irradiation. The film characteristics were largely inuenced by the ion acceleration voltage Va. With increasing Va, the adhesion strength between the film and the substrate was improved, while the surface energy increased, and the refractive index increased. With a purpose to realize all the features of high adhesion strength, low surface energy and low optical receptivity, a functionally-graded film was prepared by varying Va from 300 to 0 V continually in the course of film growth. As a consequence, an antireflective coating having good adhesion and low surface energy was obtained. The optical receptivity of a glass substrate was reduced from 4.9% to 0.55% at a wavelength of 400 nm by depositing single-layer of the functionally graded fuoropolymer film. The surface energy of this film was 8.5 mJ/m2.
キーワード (和) イオンアシスト蒸着 / 蒸着重合 / フッ素系高分子 / 付着強度 / 反射防止膜 / 傾斜機能 / /  
(英) Ion-assisted deposition / Deposition polymerization / Fluoropolymer / Adhesion / Antireflection / Graded function / /  
文献情報 信学技報, vol. 112, no. 295, OME2012-55, pp. 1-5, 2012年11月.
資料番号 OME2012-55 
発行日 2012-11-09 (OME, OPE) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード OME2012-55 OPE2012-127 エレソ技報アーカイブへのリンク:OME2012-55 OPE2012-127

研究会情報
研究会 OME OPE  
開催期間 2012-11-16 - 2012-11-16 
開催地(和) 機械振興会館 
開催地(英) Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 光機能性有機材料・デバイス、光非線形現象、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 OME 
会議コード 2012-11-OME-OPE 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 傾斜機能を持つフッ素系蒸着重合膜による反射防止効果 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Antireflective Characteristics of Functionally-Graded Fluoropolymer Thin Films Prepared by Vapor-Deposition Polymerization 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) イオンアシスト蒸着 / Ion-assisted deposition  
キーワード(2)(和/英) 蒸着重合 / Deposition polymerization  
キーワード(3)(和/英) フッ素系高分子 / Fluoropolymer  
キーワード(4)(和/英) 付着強度 / Adhesion  
キーワード(5)(和/英) 反射防止膜 / Antireflection  
キーワード(6)(和/英) 傾斜機能 / Graded function  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 泉田 和夫 / Kazuo Senda / センダ カズオ
第1著者 所属(和/英) ミクロ技研株式会社 (略称: ミクロ技研)
Micro Engineering Inc. (略称: Micro Eng. Inc.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 松田 剛 / Tsuyoshi Matsuda / マツダ ツヨシ
第2著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 河西 匠 / Takumi Kawanishi / カワニシ タクミ
第3著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 田中 邦明 / Kuniaki Tanaka / タナカ クニアキ
第4著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 臼井 博明 / Hiroaki Usui / ウスイ ヒロアキ
第5著者 所属(和/英) 東京農工大学 (略称: 東京農工大)
Tokyo University of Agriculture and Technology (略称: Tokyo Univ. Agricul. & Technol.)
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講演者
発表日時 2012-11-16 13:05:00 
発表時間 25 
申込先研究会 OME 
資料番号 OME2012-55, OPE2012-127 
巻番号(vol) 112 
号番号(no) no.295(OME), no.296(OPE) 
ページ範囲 pp.1-5 
ページ数
発行日 2012-11-09 (OME, OPE) 


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