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| 講演名 | 2013-04-19 10:55 マイクロ波超伝導共振器を用いた高感度テラヘルツ波検出器の開発 ○成瀬雅人・渡辺芳晴・布川裕真・田井野 徹・明連広昭（埼玉大）  SCE2013-5 MW2013-5 |
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| 抄録 | （和） | 機械式冷凍で持続可能な4 Kで動作する高感度テラヘルツ波検出器の基礎開発を行ってきた。検出器には超伝導検出器の１種である力学インダクタンス検出器を採用した。検出器の動作温度を4 Kとするために、検出器を構成する超伝導材料としてバルクの超伝導転移温度が約16 Kと高く、また高感度化に必要な高品質膜が作製しやすい窒化ニオブ(NbN)を採用した。窒化ニオブ膜はMgO基板上にマグネトロンスパッタ法で成長させ、175 nmで超伝導転移温度15.7 Kと良好な結果を得た。また、単位体積当たりの検出器数を増やす際に問題となる素子間クロストーク量を電磁界解析ソフトDesignerで推定した。3つの異なる構造についてクロストーク量を比較し、クロストークの原因は誘導性結合と容量性結合によって説明できることを示す。また、クロストークを抑制するためには検出器のインダクタンス部分を渦巻き型にすることが有効であることを示す。 |
| （英） | We have been developing terahertz cameras using superconducting micro-resonator arrays operated at 4 K. A superconducting micro resonator, called Microwave Kinetic Inductance Detector (MKID), is one of the most sensitive detectors for terahertz wave. MKID is made from a Niobium Nitride films whose superconducting transition temperature is 15.7 K with the thickness of 150 nm. The film is deposited on an MgO substrate by magnetron sputtering method. To increase the number of detectors per area, we estimate the amount of microwave crosstalk between pixels with Ansys Designer. We find that the pixel crosstalk occurs by both inductive and capacitive coupling. | |
| キーワード | （和） | 超伝導検出器 / テラヘルツ波カメラ / 力学インダクタンス検出器 / 超伝導マイクロ共振器アレイ / マイクロ波 / / / |
| （英） | Superconducting detector / Terahertz-wave camera / Kinetic inductance detectors / Superconducting micro resonator array / microwave / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 12, MW2013-5, pp. 21-25, 2013年4月. | |
| 資料番号 | MW2013-5 | |
| 発行日 | 2013-04-12 (SCE, MW) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2013-5 MW2013-5 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW SCE WPT |
| 開催期間 | 2013-04-19 - 2013-04-19 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | マイクロ波超伝導，マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | Superconducting microwave technologies, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2013-04-MW-SCE-WPT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | マイクロ波超伝導共振器を用いた高感度テラヘルツ波検出器の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Superconducting Micro-resonator arrays for High Sensitivity Terahertz-wave Cameras |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導検出器 / Superconducting detector |
| キーワード(2)（和/英） | テラヘルツ波カメラ / Terahertz-wave camera |
| キーワード(3)（和/英） | 力学インダクタンス検出器 / Kinetic inductance detectors |
| キーワード(4)（和/英） | 超伝導マイクロ共振器アレイ / Superconducting micro resonator array |
| キーワード(5)（和/英） | マイクロ波 / microwave |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 成瀬 雅人 / Masato Naruse / ナルセ マサト |
| 第1著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡辺 芳晴 / Yoshiharu Watanabe / ワタナベ ヨシハル |
| 第2著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 布川 裕真 / Yuma Nunokawa / ヌノカワ ユウマ |
| 第3著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田井野 徹 / Tohru Taino / タイノ トオル |
| 第4著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 明連 広昭 / Hiroaki Myoren / ミョウレン ヒロアキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 埼玉大学 (略称： 埼玉大) Saitama University (略称： Saitama Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-04-19 10:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | SCE2013-5, MW2013-5 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.11(SCE), no.12(MW) |
| ページ範囲 | pp.21-25 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2013-04-12 (SCE, MW) |
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