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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-07-18 11:25 放射光エッチングによる180GHz帯テフロン導波管の試作と評価 ○岸原充佳（岡山県立大）・木戸秀樹・山口明啓・内海裕一・太田 勲（兵庫県立大）  MW2013-64 OPE2013-33 EST2013-28 MWP2013-23 |
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| 抄録 | （和） | 本論文は，放射光直接エッチング，金属のスパッタ蒸着，電解めっきのプロセスを経て行う180GHz帯テフロン(PTFE)導波管の試作とその評価結果について述べている．放射光の直接照射で微細テフロン構造が形成できることは，これまでに報告されている．テフロン導波管の製作プロセスを概説した後に，本論文では，180GHz帯で動作する直線およびマイターベンド導波管の試作を行っている．また，測定用の180GHzテフロン導波管フランジについても，同様の製作プロセスで試作している．試作したテフロン導波管の伝送特性の測定結果を示すと共に，異なる長さのテフロン導波管に対する測定結果を用いて伝送損失の評価を行っている． |
| （英） | This paper describes trial fabrication of a PTFE-filled waveguide for 180 GHz-band operation with the use of the SR (synchrotron radiation) direct etching process of PTFE, sputter deposition of metal, and electroplating. It has been reported that PTFE microstructures can be fabricated by the direct exposure to SR. In this paper, the fabrication procedure for the PTFE-filled waveguide is briefly reviewed and the trial fabrication of the straight and the mitered-bend sections for 180 GHz operation is attempted. A waveguide flange for the 180 GHz PTFE-filled waveguide is also fabricated in the same process. The measured frequency characteristics of the PTFE-filled waveguides are shown, and the propagation losses are evaluated using the measurement results of the PTFE-filled waveguides with different lengths. | |
| キーワード | （和） | X線リソグラフィ / スパッタリング / 導波管コンポーネント / 誘電体導波路 / / / / |
| （英） | X-ray lithography / sputtering / waveguide components / dielectric loaded waveguides / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 141, MW2013-64, pp. 103-108, 2013年7月. | |
| 資料番号 | MW2013-64 | |
| 発行日 | 2013-07-11 (MW, OPE, EST, MWP) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2013-64 OPE2013-33 EST2013-28 MWP2013-23 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST MWP OPE MW EMT IEE-EMT |
| 開催期間 | 2013-07-18 - 2013-07-19 |
| 開催地（和） | 稚内総合文化センター |
| 開催地（英） | Wakkanai Synthesis Cultural Center |
| テーマ（和） | マイクロ波フォトニクス技術、一般 |
| テーマ（英） | Microwave photonic technology etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2013-07-EST-MWP-OPE-MW-EMT-EMT |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 放射光エッチングによる180GHz帯テフロン導波管の試作と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Trial Fabrication of 180 GHz-Band PTFE-Filled Waveguide by SR Etching and Its Evaluation |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | X線リソグラフィ / X-ray lithography |
| キーワード(2)（和/英） | スパッタリング / sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | 導波管コンポーネント / waveguide components |
| キーワード(4)（和/英） | 誘電体導波路 / dielectric loaded waveguides |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岸原 充佳 / Mitsuyoshi Kishihara / キシハラ ミツヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 岡山県立大学 (略称： 岡山県立大) Okayama Prefectural University (略称： Okayama Pref. Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 木戸 秀樹 / Hideki Kido / キド ヒデキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山口 明啓 / Akinobu Yamaguchi / ヤマグチ アキノブ |
| 第3著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 内海 裕一 / Yuichi Utsumi / ウツミ ユウイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 太田 勲 / Isao Ohta / オオタ イサオ |
| 第5著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学 (略称： 兵庫県立大) University of Hyogo (略称： Univ. of Hyogo) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-07-18 11:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | MW2013-64, OPE2013-33, EST2013-28, MWP2013-23 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.141(MW), no.142(OPE), no.143(EST), no.144(MWP) |
| ページ範囲 | pp.103-108 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2013-07-11 (MW, OPE, EST, MWP) |
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