講演抄録/キーワード |
講演名 |
2013-10-24 15:50
アルコールを原料とした熱CVD法によるCNTの作製 ○久保直希・山田渓介・山上朋彦・上村喜一(信州大) CPM2013-98 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2013-98 |
抄録 |
(和) |
カーボンナノチューブ(CNT)は、その機械的、熱的および化学的性質に起因して多くの分野で研究されている。真空ナノエレクトロニクス分野では、CNTは高アスペクト比を得ることができ、高い電界集中効果から電界放出源として広く研究されており、電界放出型ディスプレイ(FED)や走査型電子顕微鏡(SEM)などへの応用が期待されている。そこで本研究では、電界放出源への応用を目指してアルコールを用いたCVD法によってCNTを作製した。その結果、触媒であるNiの膜厚が30~100mへと増えることにより、炭素薄膜の膜厚が増えることが確認できた。2m程度の膜厚が確認でき、電流放出密度は最大で30A/cm2、閾値電界は最小で1.5V/m得られた。また、この時の電界増幅係数βは5546であった。 |
(英) |
Carbon nanotubes (CNTs) are studied in many fields due to their mechanical, thermal and chemical properties. In vacuum nanoelectronics, CNTs are widely studied as a source of field emission from a high electric field concentration effects can be obtained for a high aspect ratio [1]. Therefore, fabrication of CNTs by CVD method is expected to improve the field emission characteristics. As the result, the thickness of the carbon was about 2μm, and many fibrous carbons were observed. The maximum current density was about 30μA/cm2, and the minimum threshold electric field was about 1.5V/m. |
キーワード |
(和) |
カーボン / アルコール / 化学気相成長 / 電界電子放出 / / / / |
(英) |
Carbon / Alcohol / CVD / field emission / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 113, no. 268, CPM2013-98, pp. 27-30, 2013年10月. |
資料番号 |
CPM2013-98 |
発行日 |
2013-10-17 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
CPM2013-98 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2013-98 |
研究会情報 |
研究会 |
CPM |
開催期間 |
2013-10-24 - 2013-10-25 |
開催地(和) |
新潟大ときめいと |
開催地(英) |
Niigata Univ. Satellite Campus TOKIMEITO |
テーマ(和) |
薄膜プロセス・材料、一般 |
テーマ(英) |
Preparation of Thin Films, Materials for Physics and Applications, etc. |
講演論文情報の詳細 |
申込み研究会 |
CPM |
会議コード |
2013-10-CPM |
本文の言語 |
日本語 |
タイトル(和) |
アルコールを原料とした熱CVD法によるCNTの作製 |
サブタイトル(和) |
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タイトル(英) |
Fabrication of Carbon Nanotubes by Thermal Chemical Vapor Deposition Using Alcohol as Carbon Source |
サブタイトル(英) |
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キーワード(1)(和/英) |
カーボン / Carbon |
キーワード(2)(和/英) |
アルコール / Alcohol |
キーワード(3)(和/英) |
化学気相成長 / CVD |
キーワード(4)(和/英) |
電界電子放出 / field emission |
キーワード(5)(和/英) |
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キーワード(6)(和/英) |
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キーワード(7)(和/英) |
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キーワード(8)(和/英) |
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第1著者 氏名(和/英/ヨミ) |
久保 直希 / Naoki Kubo / クボ ナオキ |
第1著者 所属(和/英) |
信州大学 (略称: 信州大)
Shinshu University (略称: Shinshu Univ.) |
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) |
山田 渓介 / Keisuke Yamada / ヤマダ ケイスケ |
第2著者 所属(和/英) |
信州大学 (略称: 信州大)
Shinshu University (略称: Shinshu Univ.) |
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) |
山上 朋彦 / Tomohiko Yamakami / ヤマカミ トモヒコ |
第3著者 所属(和/英) |
信州大学 (略称: 信州大)
Shinshu University (略称: Shinshu Univ.) |
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) |
上村 喜一 / Kiichi Kamimura / カミムラ キイチ |
第4著者 所属(和/英) |
信州大学 (略称: 信州大)
Shinshu University (略称: Shinshu Univ.) |
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第6著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第10著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第11著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第12著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第13著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第14著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第15著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第17著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第18著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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第20著者 氏名(和/英/ヨミ) |
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講演者 |
第1著者 |
発表日時 |
2013-10-24 15:50:00 |
発表時間 |
25分 |
申込先研究会 |
CPM |
資料番号 |
CPM2013-98 |
巻番号(vol) |
vol.113 |
号番号(no) |
no.268 |
ページ範囲 |
pp.27-30 |
ページ数 |
4 |
発行日 |
2013-10-17 (CPM) |