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| 講演名 | 2013-10-25 09:55 FeおよびFeSi積層膜からの固相反応法によるSi上鉄シリサイド薄膜形成 ○籾山克章・鹿又健作・有馬ボシールアハンマド・久保田 繁・廣瀬文彦（山形大）  CPM2013-103 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2013-103 |
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| 抄録 | （和） | 直接遷移半導体膜として期待されるβ-FeSi2をSi上に鉄あるいは鉄シリサイド膜を形成して、固相反応法を用いて作製した。蒸着膜が純Feと、FeとSiを混合したFeSiとで、β-FeSi2の成膜温度および膜質の比較を行った。蒸着材料に関わらず、膜の結晶性はアニール温度によって変化し、β-FeSi2のできる温度は、初期膜厚が増加するに伴って、高温化することがわかった。反応残渣として表面に現れる鉄アイランドを除去するために、塩化第二鉄溶液によるエッチングが有効であることを見出した。固相反応法として、60nm程度の厚膜β-FeSi2が形成できることを示した。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 鉄シリサイド / 固相反応法 / アニール / RHEED / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 268, CPM2013-103, pp. 49-52, 2013年10月. | |
| 資料番号 | CPM2013-103 | |
| 発行日 | 2013-10-17 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2013-103 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2013-103 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2013-10-24 - 2013-10-25 |
| 開催地（和） | 新潟大ときめいと |
| 開催地（英） | Niigata Univ. Satellite Campus TOKIMEITO |
| テーマ（和） | 薄膜プロセス・材料、一般 |
| テーマ（英） | Preparation of Thin Films, Materials for Physics and Applications, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2013-10-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | FeおよびFeSi積層膜からの固相反応法によるSi上鉄シリサイド薄膜形成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of high quality and a large thickness of FeSi2 layers from Fe or FeSi sources by Solid Phase Growth |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 鉄シリサイド / |
| キーワード(2)（和/英） | 固相反応法 / |
| キーワード(3)（和/英） | アニール / |
| キーワード(4)（和/英） | RHEED / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 籾山 克章 / Katsuaki Momiyama / モミヤマ カツアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 有馬 ボシールアハンマド / Bashir Ahmmad Arima / アリマ ボシールアハンマド |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久保田 繁 / Shigeru Kubota / クボタ シゲル |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-10-25 09:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2013-103 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.268 |
| ページ範囲 | pp.49-52 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2013-10-17 (CPM) |
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