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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-11-28 13:20 バルクとSOTBにおけるアンテナダメージによるリングオシレータの発振周波数ばらつきの評価 ○岸田 亮・籔内美智太郎・大島 梓・小林和淑（京都工繊大）  VLD2013-83 DC2013-49 |
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| 抄録 | （和） | 近年の集積回路の微細化により、アンテナダメージによる信頼性の低下が懸念されている。 本稿ではリングオシレータにおいて発振経路の1ヶ所のみにアンテナを接続した回路で発振周波数を測定する。 チップはバルクとSOTB (Silicon On Thin BOX) 構造の2 つを用いて測定する。 測定した結果，アンテナダメージによる特性ばらつきの変動を確認することは出来なかった。 しかし，アンテナダメージによる発振周波数の低下を確認出来た。 バルクではアンテナをドレインにつなげることでダメージが緩和されることが分かった。 SOTB ではバルクよりもアンテナの周囲長の影響が出ることを確認した。 |
| （英） | A degradation of reliability caused by plasma induced damage has become a significant concern with miniaturizing a device size. In this paper, we measure frequencies of ring oscillators with an antenna structure on one stage. We prepare bulk and SOTB (Silicon On Thin BOX) chips. As a result, variations of oscillating frequency do not change by antenna structures. But frequencies are decreased by plasma induced damage. The damaged are relieved by connecting an antenna to a drain in bulk. Perimeter lengths give more serious damage in SOTB than in bulk. |
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| キーワード | （和） | アンテナ / ばらつき / SOTB / リングオシレータ / 発振周波数 / / / |
| （英） | Plasma Induced Damage / Variation / SOTB / Ring Oscillator / Frequency / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 320, VLD2013-83, pp. 159-164, 2013年11月. | |
| 資料番号 | VLD2013-83 | |
| 発行日 | 2013-11-20 (VLD, DC) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | VLD2013-83 DC2013-49 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD DC IPSJ-SLDM CPSY RECONF ICD CPM |
| 開催期間 | 2013-11-27 - 2013-11-29 |
| 開催地（和） | 鹿児島県文化センター |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | デザインガイア2013 -VLSI設計の新しい大地- |
| テーマ（英） | Design Gaia 2013 -New Field of VLSI Design- |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | VLD |
| 会議コード | 2013-11-VLD-DC-SLDM-CPSY-RECONF-ICD-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | バルクとSOTBにおけるアンテナダメージによるリングオシレータの発振周波数ばらつきの評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluations of Variations on Ring Oscillators from Plasma Induced Damage in Bulk and SOTB Processes |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | アンテナ / Plasma Induced Damage |
| キーワード(2)（和/英） | ばらつき / Variation |
| キーワード(3)（和/英） | SOTB / SOTB |
| キーワード(4)（和/英） | リングオシレータ / Ring Oscillator |
| キーワード(5)（和/英） | 発振周波数 / Frequency |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岸田 亮 / Ryo Kishida / キシダ リョウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 (略称： 京都工繊大) Kyoto Institute of Technology (略称： Kyoto Inst. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 籔内 美智太郎 / Michitarou Yabuuchi / ヤブウチ ミチタロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 (略称： 京都工繊大) Kyoto Institute of Technology (略称： Kyoto Inst. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大島 梓 / Azusa Oshima / オオシマ アズサ |
| 第3著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 (略称： 京都工繊大) Kyoto Institute of Technology (略称： Kyoto Inst. of Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小林 和淑 / Kazutoshi Kobayashi / コバヤシ カズトシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 京都工芸繊維大学 (略称： 京都工繊大) Kyoto Institute of Technology (略称： Kyoto Inst. of Tech.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-11-28 13:20:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | VLD |
| 資料番号 | VLD2013-83, DC2013-49 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.320(VLD), no.321(DC) |
| ページ範囲 | pp.159-164 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2013-11-20 (VLD, DC) |
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