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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-12-20 15:00 3次元光インターコネクトに向けた金属ミラー付き層間グレーティングカプラ ○カン ジュンヒョン・渥美裕樹・林 侑介・鈴木純一・久能雄輝・雨宮智宏・西山伸彦・荒井滋久（東工大）  OPE2013-142 |
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| 抄録 | （和） | シリコンフォトニクスによる光インターコネクトは多層構造を導入することで更なる高伝送密度化が可能である。本研究では多層間の信号伝送用構造として採用しているグレーティングカプラの上下を金属ミラーで挟むことにより、1回の回折格子結合では捕捉しきれない成分を反射させることによる高効率結合化を目指した。3次元FDTDを用いて構造設計を行った結果、金属ミラーを用いない場合の約3倍となる結合効率90％が見積もられた。作製プロセスはa-Si:Hをコアとする導波路形成を含めすべて300°C以下で行い、回折格子周期数20の素子で結合効率83%が得られた。 |
| （英） | Silicon photonics for optical interconnects can further improve the signal transmission density by introducing multilayered structure. In this work, we used grating couplers with metal mirrors for the inter-layer connection in multi-layered a-Si:H waveguides. The coupling efficiency of 90%, which was around 3 times higher than that without metal mirrors, was estimated by 3D-FDTD simulation. Devices were fabricated by process temperatures below 300°C and the coupling efficiency of 83% was obtained for a device with the number of grating periods of 20. | |
| キーワード | （和） | シリコンフォトニクス / アモルファスシリコン / 層間結合 / グレーティングカプラ / 金属ミラー / / / |
| （英） | Silicon Photonics / Amorphous silicon / Inter-layer coupling / Grating coupler / Metal mirror / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 370, OPE2013-142, pp. 25-30, 2013年12月. | |
| 資料番号 | OPE2013-142 | |
| 発行日 | 2013-12-13 (OPE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OPE2013-142 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
| 開催期間 | 2013-12-20 - 2013-12-20 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 光パッシブコンポネント(フィルタ，コネクタ，MEMS)、シリコンフォトニクス、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2013-12-OPE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 3次元光インターコネクトに向けた金属ミラー付き層間グレーティングカプラ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Metal mirror assisted grating couplers between multilayered waveguides toward 3D optical interconnects |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコンフォトニクス / Silicon Photonics |
| キーワード(2)（和/英） | アモルファスシリコン / Amorphous silicon |
| キーワード(3)（和/英） | 層間結合 / Inter-layer coupling |
| キーワード(4)（和/英） | グレーティングカプラ / Grating coupler |
| キーワード(5)（和/英） | 金属ミラー / Metal mirror |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | カン ジュンヒョン / JoonHyun Kang / カン ジュンヒョン |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Insitute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渥美 裕樹 / Yuki Atsumi / アツミ ユウキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Insitute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 林 侑介 / Yusuke Hayashi / ハヤシ ユウスケ |
| 第3著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Insitute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 純一 / Junichi Suzuki / スズキ ジュンイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Insitute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久能 雄輝 / Yuki Kuno / クノウ ユウキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Insitute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 雨宮 智宏 / Tomohiro Amemiya / アメミヤ トモヒロ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Insitute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西山 伸彦 / Nobuhiko Nishiyama / ニシヤマ ノブヒコ |
| 第7著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Insitute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 荒井 滋久 / Shigehisa Arai / アライ シゲヒサ |
| 第8著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Insitute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-12-20 15:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OPE2013-142 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.370 |
| ページ範囲 | pp.25-30 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2013-12-13 (OPE) |
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