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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-01-23 16:10 プラズマ装置用ZVS/ZCSインバータを搭載した高効率直流電源装置 ○安達俊幸（京三製作所）・譲原逸男（横浜国大/京三製作所）・高柳 敦・小玉真一（京三製作所）  EE2013-37 |
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| 抄録 | （和） | 本論文は，プラズマ装置用直流電源装置で，３つの提案について述べている。第1にマイクロアーク制御機能は，アークエネルギーを極端に小さくさせるものである。高周波化によって，出力平滑回路の定数を極力小さくすることが可能になり，アークエネルギーは，0.3mJ/kw未満を実現している。第2にイグニッション電圧機能は，昇圧機能を搭載している回路により，プラズマの点火に必要な高電圧を任意に設定できる。第3にインバータ回路のZVS/ZCS機能は，高周波スイッチングロスを減少させるためのソフトスイッチングの採用で，スイッチ素子4個とLC共振回路により実現している。実験結果より，アークエネルギー4.5mJ/15kW未満とイグニッション電圧1600Vの発生とAC-DCの変換効率92%が得られた。 |
| （英） | This paper presents DC power supply for plasma equipment, and has described three proposal. The first,a micro arc control function makes arc energy extremely small. By adoption of higher frequency, it became possible to make the constant of an output smoothing circuit small as much as possible, and arc energy has realized less than 0.3 mJ/kw. The second, the ignition voltage function can be arbitrarily settable the high voltage necessary for ignition of the plasma because the converter is including a boosting function. The third, the inverter adopted by the soft switching for reducing the high-frequency switching loss, in other word ZVS/ZCS function of the inverter circuit is realized by a LC resonant circuit with four switch elements. From the experimental result, 4.5 mJ/less than 15 kW of arc energy, generating of the ignition voltage 1600V, and 92% of the conversion efficiency of AC-DC were able to be acquired. | |
| キーワード | （和） | MOSFET / ソフトスイッチング / 変換効率 / ZVS/ZCS / / / / |
| （英） | MOSFET / soft-switching / conversion efficiency / ZVS/ZCS / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 392, EE2013-37, pp. 37-42, 2014年1月. | |
| 資料番号 | EE2013-37 | |
| 発行日 | 2014-01-16 (EE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EE2013-37 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EE |
| 開催期間 | 2014-01-23 - 2014-01-24 |
| 開催地（和） | 宮崎観光ホテル |
| 開催地（英） | MIYAZAKI KANKO HOTEL |
| テーマ（和） | 回路技術及び高効率エネルギー変換技術関連，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | EE |
| 会議コード | 2014-01-EE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | プラズマ装置用ZVS/ZCSインバータを搭載した高効率直流電源装置 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High-Efficient DC Power Supply with ZVS/ZCS Inverter for Plasma Applications |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | MOSFET / MOSFET |
| キーワード(2)（和/英） | ソフトスイッチング / soft-switching |
| キーワード(3)（和/英） | 変換効率 / conversion efficiency |
| キーワード(4)（和/英） | ZVS/ZCS / ZVS/ZCS |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安達 俊幸 / Toshiyuki Adachi / アダチ トシユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 株式会社京三製作所 (略称： 京三製作所) Kyosan Electric Mfg.Co.,Ltd. (略称： Kyosan Electric) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 譲原 逸男 / Itsuo Yuzurihara / ユズルハラ イツオ |
| 第2著者 所属（和/英） | 横浜国立大学/株式会社京三製作所 (略称： 横浜国大/京三製作所) Yokohama National University/Kyosan Electric Mfg.Co.,Ltd. (略称： Yokohama National Univ/Kyosan Electric) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高柳 敦 / Atsushi Takayanagi / タカヤナギ アツシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 株式会社京三製作所 (略称： 京三製作所) Kyosan Electric Mfg.Co.,Ltd. (略称： Kyosan Electric) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小玉 真一 / Shinichi Kodama / コダマ シンイチ |
| 第4著者 所属（和/英） | 株式会社京三製作所 (略称： 京三製作所) Kyosan Electric Mfg.Co.,Ltd. (略称： Kyosan Electric) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-01-23 16:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | EE |
| 資料番号 | EE2013-37 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.392 |
| ページ範囲 | pp.37-42 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2014-01-16 (EE) |
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