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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-03-04 14:10 不確かさを考慮したオンウェハディエンベディングパターン設計 ○水津雅史・折井瑛彦・高野恭弥・本良瑞樹・片山光亮・吉田 毅・天川修平・藤島 実（広島大）  MW2013-203 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2013-203 |
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| 抄録 | （和） | 高周波測定においてデバイス単体の特性を得るため，測定結果からパッドの影響を取り除くディエンベディングを必要とする．より正確なパラメータの抽出のためには，オンウェハディエンベディングの不確かさを考慮する必要がある．オンウェハディエンベディングパターン設計に際し，限られた面積で最もディエンベディング結果の標準不確かさを少なくするディエンベディングパターン設計の条件を導く． |
| （英） | To obtain the characteristics of the individual devices in the high-frequency measurement, de-embedding is required to remove the influence of the pads from the measurement results. For more accurate extraction of parameters, it is necessary to consider the uncertainty of the on-wafer de-embedding. We propose a method for designing the layout of on-wafer de-embedding patterns for multiline TRL with minimal uncertainty in de-embedding under a chip area constraint. | |
| キーワード | （和） | オンウェハディエンベディング / 不確かさ / / / / / / |
| （英） | On-wafer de-embedding / Uncertainty / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 460, MW2013-203, pp. 35-40, 2014年3月. | |
| 資料番号 | MW2013-203 | |
| 発行日 | 2014-02-25 (MW) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2013-203 エレソ技報アーカイブへのリンク：MW2013-203 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
| 開催期間 | 2014-03-04 - 2014-03-05 |
| 開催地（和） | 愛媛大学 |
| 開催地（英） | Ehime University |
| テーマ（和） | マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | Microwave Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2014-03-MW |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 不確かさを考慮したオンウェハディエンベディングパターン設計 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | On-wafer de-embedding pattern design for reduced uncertainty under an area constraint |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | オンウェハディエンベディング / On-wafer de-embedding |
| キーワード(2)（和/英） | 不確かさ / Uncertainty |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 水津 雅史 / Masafumi Suizu / スイズ マサフミ |
| 第1著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 折井 瑛彦 / Akihiko Orii / オリイ アキヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高野 恭弥 / Kyoya Takano / タカノ キョウヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本良 瑞樹 / Mizuki Motoyoshi / モトヨシ ミズキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 片山 光亮 / Kosuke Katayama / カタヤマ コウスケ |
| 第5著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉田 毅 / Takeshi Yoshida / ヨシダ タケシ |
| 第6著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 天川 修平 / Shuhei Amakawa / アマカワ シュウヘイ |
| 第7著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤島 実 / Minoru Fujishima / フジシマ ミノル |
| 第8著者 所属（和/英） | 広島大学 (略称： 広島大) Hiroshima University (略称： Hiroshima Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-03-04 14:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | MW2013-203 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.460 |
| ページ範囲 | pp.35-40 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2014-02-25 (MW) |
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