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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-04-11 10:50 BLDAを用いた低温プロセスpoly-Si TFT ○下田清治・杉原弘也・井村公彦・岡田竜弥・野口 隆（琉球大）  SDM2014-14 OME2014-14 |
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| 抄録 | （和） | 低コストでの製造プロセスによるpoly-Si TFTは、ガラス上およびフレキシブルパネルに必要とされている。本研究では、近年、新しいLTPS (低温ポリシリコン)として報告されているBLDA (青色半導体レーザダイオードアニール)を用いてイオン注入なしでトップゲート型TFTを作製した。作製したTFTに水素アニールを施すことで特性の向上ができた。水素アニールを含めTFTは400℃以下の低温プロセスで作製したことから、BLDAを用いたTFTはフレキシブル基板上への応用が期待される。 |
| （英） | Poly-Si TFTs by low cost fabrication process are required on glass as well as on flexible panel. Top-gate-type TFT without ion-implantation was fabricated with ultra-low temperature process below 400℃ using BLDA. Ti was adopted for source and drain. High performance TFTs formed by low cost process are expected on plastic and on flexible sheet using BLDA. | |
| キーワード | （和） | 薄膜トランジスタ / 低温 / シリコン / 結晶化 / レーザアニール / / / |
| （英） | TFT / Low temperature / Silicon / Crystallization / Laser annealing / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 1, SDM2014-14, pp. 59-61, 2014年4月. | |
| 資料番号 | SDM2014-14 | |
| 発行日 | 2014-04-03 (SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2014-14 OME2014-14 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM OME |
| 開催期間 | 2014-04-10 - 2014-04-11 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawa-Ken-Seinen-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・材料・評価技術、バイオテクノロジー、および一般 |
| テーマ（英） | Advanced Thin-Film Devices (Si, Compound, Organic) and Related Topics |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2014-04-SDM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | BLDAを用いた低温プロセスpoly-Si TFT |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of poly-Si TFT with low-temperature process using BLDA |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 薄膜トランジスタ / TFT |
| キーワード(2)（和/英） | 低温 / Low temperature |
| キーワード(3)（和/英） | シリコン / Silicon |
| キーワード(4)（和/英） | 結晶化 / Crystallization |
| キーワード(5)（和/英） | レーザアニール / Laser annealing |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下田 清治 / Kiyoharu Shimoda / シモダ キヨハル |
| 第1著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 杉原 弘也 / Kouya Sugihara / スギハラ コウヤ |
| 第2著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井村 公彦 / Kimihiko Imura / イムラ キミヒコ |
| 第3著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada / オカダ タツヤ |
| 第4著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野口 隆 / Takashi Noguchi / ノグチ タカシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Univ. of the Ryukyus) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-04-11 10:50:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2014-14, OME2014-14 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.1(SDM), no.2(OME) |
| ページ範囲 | pp.59-61 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2014-04-03 (SDM, OME) |
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