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講演抄録/キーワード
講演名 2014-04-11 11:10
ブルーマルチレーザダイオードアニールを施したガラス上Si薄膜の光伝導特性
コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ知念 怜杉原弘也岡田竜弥野口 隆琉球大SDM2014-15 OME2014-15 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2014-15 OME2014-15
抄録 (和) ガラス上のSi膜の機能光センサ応用をめざし、ブルーマルチレーザダイオードアニール(BLDA)を施したSi膜の光伝導性について調べた。レーザパワーを4~6 Wに増加するにつれて大粒形の薄膜が形成され、光導電率が増加することがわかった。 さらに、レーザ照射し結晶化されたSi膜に対して、H2/N2(4%)ガス雰囲気中において450℃ [1h]の低温アニールを施した。6 WでBLDA照射後のSi膜では100 [mW/cm2]の白色光照射下で、94倍の光感度比(σphoto/σdark)が得られた。Si膜の欠陥密度が低下することによって光感度が向上したと考えられる。BLDAによる結晶化は、パネル上多機能システムの光センサへの応用に期待される。 
(英) Photoconductivity of BLDA applied Si film was examined for the aim of multi-functional optical sensor application of the Si film on glass. Photoconductivity was increased due to the formation of large grains with the increase of laser power from 4 to 6 W. Furthermore, Si film crystallized by laser irradiation has been subjected to low-temperature annealing at 450℃ for 1h in H2/N2 (4%) gas atmosphere. Photosensitivity ratio of 94 (σphoto/σdark) was obtained under white light of 100 mW/cm2 in Si film of BLDA after irradiation at 6 W. It is considered light sensitivity was improved by the decrease of defects density in the Si film. The crystallization by BLDA is promising for application to the optical sensor of a multi-function system on panel is suggested from these results.
キーワード (和) シリコン / レーザアニール / 結晶化 / 光伝導特性 / / / /  
(英) Silicon / Laser annealing / Crystallization / Photoconductive characteristic / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 114, no. 1, SDM2014-15, pp. 63-65, 2014年4月.
資料番号 SDM2014-15 
発行日 2014-04-03 (SDM, OME) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード SDM2014-15 OME2014-15 エレソ技報アーカイブへのリンク:SDM2014-15 OME2014-15

研究会情報
研究会 SDM OME  
開催期間 2014-04-10 - 2014-04-11 
開催地(和) 沖縄県青年会館 
開催地(英) Okinawa-Ken-Seinen-Kaikan Bldg. 
テーマ(和) 薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術、バイオテクノロジー、および一般 
テーマ(英) Advanced Thin-Film Devices (Si, Compound, Organic) and Related Topics 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2014-04-SDM-OME 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) ブルーマルチレーザダイオードアニールを施したガラス上Si薄膜の光伝導特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Photoconductivity of Si Films on glass after Blue Multi-Laser Diode Annealing 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) シリコン / Silicon  
キーワード(2)(和/英) レーザアニール / Laser annealing  
キーワード(3)(和/英) 結晶化 / Crystallization  
キーワード(4)(和/英) 光伝導特性 / Photoconductive characteristic  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ / Charith Jayanada Koswaththage* /
第1著者 所属(和/英) 琉球大学 (略称: 琉球大)
University of the Ryukyus (略称: Uni. of the Ryukyus)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 知念 怜 / Satoshi Chinen / チネン サトシ
第2著者 所属(和/英) 琉球大学 (略称: 琉球大)
University of the Ryukyus (略称: Uni. of the Ryukyus)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 杉原 弘也 / Kouya Sugihara / スギハラ コウヤ
第3著者 所属(和/英) 琉球大学 (略称: 琉球大)
University of the Ryukyus (略称: Uni. of the Ryukyus)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada / オカダ タツヤ
第4著者 所属(和/英) 琉球大学 (略称: 琉球大)
University of the Ryukyus (略称: Uni. of the Ryukyus)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 野口 隆 / Takashi Noguchi / ノグチ タカシ
第5著者 所属(和/英) 琉球大学 (略称: 琉球大)
University of the Ryukyus (略称: Uni. of the Ryukyus)
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講演者 第1著者 
発表日時 2014-04-11 11:10:00 
発表時間 20分 
申込先研究会 SDM 
資料番号 SDM2014-15, OME2014-15 
巻番号(vol) vol.114 
号番号(no) no.1(SDM), no.2(OME) 
ページ範囲 pp.63-65 
ページ数
発行日 2014-04-03 (SDM, OME) 


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