| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-04-11 11:10 ブルーマルチレーザダイオードアニールを施したガラス上Si薄膜の光伝導特性 ○コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ・知念 怜・杉原弘也・岡田竜弥・野口 隆（琉球大）  SDM2014-15 OME2014-15 |
|
| 抄録 | （和） | ガラス上のSi膜の機能光センサ応用をめざし、ブルーマルチレーザダイオードアニール（BLDA）を施したSi膜の光伝導性について調べた。レーザパワーを4～6 Wに増加するにつれて大粒形の薄膜が形成され、光導電率が増加することがわかった。 さらに、レーザ照射し結晶化されたSi膜に対して、H2/N2（4％）ガス雰囲気中において450℃ [1h]の低温アニールを施した。6 WでBLDA照射後のSi膜では100 [mW/cm2]の白色光照射下で、94倍の光感度比（σphoto/σdark）が得られた。Si膜の欠陥密度が低下することによって光感度が向上したと考えられる。BLDAによる結晶化は、パネル上多機能システムの光センサへの応用に期待される。 |
| （英） | Photoconductivity of BLDA applied Si film was examined for the aim of multi-functional optical sensor application of the Si film on glass. Photoconductivity was increased due to the formation of large grains with the increase of laser power from 4 to 6 W. Furthermore, Si film crystallized by laser irradiation has been subjected to low-temperature annealing at 450℃ for 1h in H2/N2 (4%) gas atmosphere. Photosensitivity ratio of 94 (σphoto/σdark) was obtained under white light of 100 mW/cm2 in Si film of BLDA after irradiation at 6 W. It is considered light sensitivity was improved by the decrease of defects density in the Si film. The crystallization by BLDA is promising for application to the optical sensor of a multi-function system on panel is suggested from these results. | |
| キーワード | （和） | シリコン / レーザアニール / 結晶化 / 光伝導特性 / / / / |
| （英） | Silicon / Laser annealing / Crystallization / Photoconductive characteristic / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 1, SDM2014-15, pp. 63-65, 2014年4月. | |
| 資料番号 | SDM2014-15 | |
| 発行日 | 2014-04-03 (SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2014-15 OME2014-15 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM OME |
| 開催期間 | 2014-04-10 - 2014-04-11 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawa-Ken-Seinen-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・材料・評価技術、バイオテクノロジー、および一般 |
| テーマ（英） | Advanced Thin-Film Devices (Si, Compound, Organic) and Related Topics |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2014-04-SDM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ブルーマルチレーザダイオードアニールを施したガラス上Si薄膜の光伝導特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Photoconductivity of Si Films on glass after Blue Multi-Laser Diode Annealing |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコン / Silicon |
| キーワード(2)（和/英） | レーザアニール / Laser annealing |
| キーワード(3)（和/英） | 結晶化 / Crystallization |
| キーワード(4)（和/英） | 光伝導特性 / Photoconductive characteristic |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ / Charith Jayanada Koswaththage* / |
| 第1著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Uni. of the Ryukyus) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 知念 怜 / Satoshi Chinen / チネン サトシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Uni. of the Ryukyus) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 杉原 弘也 / Kouya Sugihara / スギハラ コウヤ |
| 第3著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Uni. of the Ryukyus) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada / オカダ タツヤ |
| 第4著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Uni. of the Ryukyus) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野口 隆 / Takashi Noguchi / ノグチ タカシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 琉球大学 (略称： 琉球大) University of the Ryukyus (略称： Uni. of the Ryukyus) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-04-11 11:10:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2014-15, OME2014-15 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.1(SDM), no.2(OME) |
| ページ範囲 | pp.63-65 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2014-04-03 (SDM, OME) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]