| 講演抄録/キーワード |
| 講演名 |
2014-07-11 11:15
Fabry-Perot干渉型バイオセンサにおける生体分子吸着に対するParylene-Cダイアフラム変形評価 ○桝屋善光・高橋一浩・小澤 遼・石田 誠・澤田和明(豊橋技科大) ED2014-52 |
| 抄録 |
(和) |
MEMS技術を用いて分子同士の相互作用を機械的な変形に読み替えて検出する技術は,生体分子の非標識検出法として,疾患の診断や創薬分野への期待が高い.本研究では膜の変位を電気信号に変換する技術として,Fabry-Perot干渉を利用した新規なトランスデューサを提案している.このMEMS Fabry-Perot干渉センサ上にタンパク質を付着させたときの形状変化を評価するため,ウシ血清アルブミン抗体(anti-BSA)を10 g/mL含む溶液を滴下する実験を行った.anti-BSA溶液380 pLを滴下したセンサでは,センサの中央付近が上に凸形に50 nm形状変化している様子が観察された.センシングエリアからの反射スペクトルを測定した結果anti-BSA溶液の滴下量を増やすに従って,干渉ピークが長波長側にシフトする様子が確認された.光学解析による結果ではエアギャップが40 nm拡大したときにスペクトルピーク位置が反射率測定結果と一致した. |
| (英) |
We have recently developed a surface stress sensor based on a MEMS Fabry-Perot interferometer integrated with a photodiode, which utilizes the nonlinear optical transmittance change in the Fabry-Perot interference to enhance the sensitivity of the surface stress. Parylene-C was used as a deformable membrane in the sensor because of negligible residual stress and low Young’s modulus of 2.8 GPa, which provides a large deformation with respect to molecular adsorption. After immobilization of 2-pg anti-BSA on the Fabry–Perot sensor, we measured about 50 nm deformation by optical surface profiler and reflection spectrum. |
| キーワード |
(和) |
MEMS Fabry-Perot干渉計 / バイオセンサ / 非標識 / 表面応力 / タンパク質 / / / |
| (英) |
MEMS Fabry–Perot interferometer / biosensor / label-free / surface-stress / protein / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 114, no. 133, ED2014-52, pp. 39-43, 2014年7月. |
| 資料番号 |
ED2014-52 |
| 発行日 |
2014-07-03 (ED) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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ED2014-52 |