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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-08-05 13:55 プローブ圧力によるトランジスタ特性変動評価と圧力抽出手法 ○岡垣 健・長谷川拓実・高篠裕行・藤井理子・津田敦志・渋谷宏治・出口善宣・横田美穂・小野沢和徳（ルネサス エレクトロニクス）  SDM2014-77 ICD2014-46 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2014-77 ICD2014-46 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 174, SDM2014-77, pp. 83-86, 2014年8月. | |
| 資料番号 | SDM2014-77 | |
| 発行日 | 2014-07-28 (SDM, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2014-77 ICD2014-46 エレソ技報アーカイブへのリンク：SDM2014-77 ICD2014-46 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD SDM |
| 開催期間 | 2014-08-04 - 2014-08-05 |
| 開催地（和） | 北海道大学 情報教育館（札幌市） |
| 開催地（英） | Hokkaido Univ., Multimedia Education Bldg. |
| テーマ（和） | 低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2014-08-ICD-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | プローブ圧力によるトランジスタ特性変動評価と圧力抽出手法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Tr variance evaluation induced by probing pressure and its stress extraction methodology in 28nm High-K and Metal Gate process |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
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| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岡垣 健 / Takeshi Okagaki / オカガキ タケシ |
| 第1著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Elec. Corp. (略称： Renesas) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長谷川 拓実 / Takumi Hasegawa / ハセガワ タクミ |
| 第2著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Elec. Corp. (略称： Renesas) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高篠 裕行 / Hiroyuki Takashino / タカシノ ヒロユキ |
| 第3著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Elec. Corp. (略称： Renesas) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤井 理子 / Masako Fujii / フジイ マサコ |
| 第4著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Elec. Corp. (略称： Renesas) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 津田 敦志 / Atsushi Tsuda / ツダ アツシ |
| 第5著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Elec. Corp. (略称： Renesas) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渋谷 宏治 / Koji Shibutani / シブタニ コウジ |
| 第6著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Elec. Corp. (略称： Renesas) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 出口 善宣 / Yoshinori Deguchi / デグチ ヨシノリ |
| 第7著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Elec. Corp. (略称： Renesas) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 横田 美穂 / Miho Yokota / ヨコタ ミホ |
| 第8著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Elec. Corp. (略称： Renesas) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小野沢 和徳 / Kazunori Onozawa / オノザワ カズノリ |
| 第9著者 所属（和/英） | ルネサスエレクトロニクス (略称： ルネサス エレクトロニクス) Renesas Elec. Corp. (略称： Renesas) |
| 第10著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-08-05 13:55:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2014-77, ICD2014-46 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.174(SDM), no.175(ICD) |
| ページ範囲 | pp.83-86 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2014-07-28 (SDM, ICD) |
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