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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2014-10-15 14:05 Br2-N2ドライエッチングによる二ホウ化マグネシウムナノ細線単一光子検出器の作製 ○柴田浩行（NTT）  SCE2014-36 |
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| 抄録 | （和） | 次世代の超伝導材料である二ホウ化マグネシウム（MgB_2）を用いた超伝導デバイスの開発には、本材料に関する微細加工法を開発する必要がある．今回、新たに臭素－窒素混合ガスを用いた反応性ビームエッチング法を用いて、幅76 nm のメアンダ細線を劣化なく作製することに成功した。これを用いた検出器は、温度10 Kにおいても、波長405 nmの単一光子が検出可能である． |
| （英） | For the development of superconducting devices using MgB_2, it is necessary to develop the new nano fabrication process for the material. Here, we report the fabrication of meander pattern of MgB_2 with the line width of 76 nm by using Br_2-N_2 dry etching. The detector exhibits the capacity for detecting single photons at 405 nm even at 10 K. | |
| キーワード | （和） | 超伝導単一光子検出器 / 二ホウ化マグネシウム / 微細加工 / 臭素エッチング / SSPD / / / |
| （英） | superconducting single-photon detector / MgB2 / nano fabrication / Br2 etching / SSPD / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 247, SCE2014-36, pp. 11-15, 2014年10月. | |
| 資料番号 | SCE2014-36 | |
| 発行日 | 2014-10-08 (SCE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SCE2014-36 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
| 開催期間 | 2014-10-15 - 2014-10-16 |
| 開催地（和） | 東北大学・電気通信研究所 |
| 開催地（英） | Tohoku University, RIEC |
| テーマ（和） | 超伝導センシング基盤技術及びその応用、一般 |
| テーマ（英） | Superconducting sensing technologies and their applications, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SCE |
| 会議コード | 2014-10-SCE |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Br2-N2ドライエッチングによる二ホウ化マグネシウムナノ細線単一光子検出器の作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of MgB2 nanowire superconducting single-photon detector using Br2-N2 dry etching |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導単一光子検出器 / superconducting single-photon detector |
| キーワード(2)（和/英） | 二ホウ化マグネシウム / MgB2 |
| キーワード(3)（和/英） | 微細加工 / nano fabrication |
| キーワード(4)（和/英） | 臭素エッチング / Br2 etching |
| キーワード(5)（和/英） | SSPD / SSPD |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柴田 浩行 / Hiroyuki Shibata / シバタ ヒロユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社 (略称： NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation (略称： NTT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-10-15 14:05:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | SCE |
| 資料番号 | SCE2014-36 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.247 |
| ページ範囲 | pp.11-15 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2014-10-08 (SCE) |
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