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| 講演名 | 2014-12-12 15:45 空孔率制御によるポーラスシリコン膜の自己組織的3次元微細構造形成 ○石黒敬太・出野上真樹・青木画奈・藤井 稔（神戸大）  EID2014-31 SDM2014-126 エレソ技報アーカイブへのリンク：EID2014-31 SDM2014-126 |
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| 抄録 | （和） | シリコン (Si) は電子デバイスの根幹を担うだけでなく、プロジェクタに内蔵されるDigital Mirror Device (DMD) やインクジェットプリンタのヘッド、スマートフォンのモーションセンサなど、Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS) の分野で、様々なデバイスの基本材料としての地位を確立している。近年のSi微細加工技術の発達により、MEMSの小型化・高機能化は次々と実現されてきたが、より高度な集積化や可動領域の広範囲化を可能にする3次元加工技術は未だ完成されておらず、産業展開可能な量産技術の確立には至っていない。本研究では、簡便で大量形成可能なSiの新たな3次元加工技術として、膜厚方向に空孔率を変化させたポーラスシリコン(PSi)を用いた円曲構造の形成法を提案する。 |
| （英） | Silicon (Si) is not only the basis of electronic devices, but also established as a basic material of various devices, especially in the field of Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS), such as Digital Mirror Device (DMD) built in an image projector, an inkjet printer head, motion sensors of a smartphone, and so on. Compact and highly-functional MEMS devices have been seamlessly realized with the development of Si micromachining technology. However, three-dimensional (3D) processing technique which allows more advanced integration and wide range mobility is not yet established. In this study, we propose a new shaping method of Si into micro circular curvature structures utilizing porosity-controlled porous silicon membrane and steam oxidation. This is a simple, costless, and mass producible new 3D micro processing technique of Si. | |
| キーワード | （和） | 自己巻き上げ / ポーラスシリコンチューブ / MEMS / Lab-on-a-chip / / / / |
| （英） | Self-rolled-up / Porous silicon tube / MEMS / Lab-on-a-chip / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 360, SDM2014-126, pp. 95-98, 2014年12月. | |
| 資料番号 | SDM2014-126 | |
| 発行日 | 2014-12-05 (EID, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EID2014-31 SDM2014-126 エレソ技報アーカイブへのリンク：EID2014-31 SDM2014-126 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM EID |
| 開催期間 | 2014-12-12 - 2014-12-12 |
| 開催地（和） | 京都大学 |
| 開催地（英） | Kyoto University |
| テーマ（和） | シリコン関連材料の作製と評価、およびディスプレイ技術 |
| テーマ（英） | Si and Si-related Materials and Devices, Display Technology |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2014-12-SDM-EID |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 空孔率制御によるポーラスシリコン膜の自己組織的3次元微細構造形成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Porous Silicon 3D micro structure formation by strain-induced self-rolling by porosity control |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 自己巻き上げ / Self-rolled-up |
| キーワード(2)（和/英） | ポーラスシリコンチューブ / Porous silicon tube |
| キーワード(3)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(4)（和/英） | Lab-on-a-chip / Lab-on-a-chip |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石黒 敬太 / Keita Ishiguro / イシグロ ケイタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 出野上 真樹 / Masaki Denokami / デノカミ マサキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 青木 画奈 / Kanna Aoki / アオキ カンナ |
| 第3著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 藤井 稔 / Minoru Fujii / フジイ ミノル |
| 第4著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2014-12-12 15:45:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | EID2014-31, SDM2014-126 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.359(EID), no.360(SDM) |
| ページ範囲 | pp.95-98 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2014-12-05 (EID, SDM) |
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