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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-02-05 17:00 Low pull-in voltage graphene nanoelectromechanical switch ○Jian Sun・Nozomu Kanetake・Takuo Chikuba・Manoharan Muruganathan・Hiroshi Mizuta（JAIST）  ED2014-145 SDM2014-154 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | In this work, we developed the graphene nanoelectromechanical (NEM) contact switch. A new bottom-up procedure using a polymer sacrificial spacer was proposed to fabricate graphene NEM switch without any acid-etching process. As a consequence, the mechanical stability of the NEM switch has been greatly improved. Moreover, a low pull-in voltage of below 2 V was realized in the fabricated switch with good consistency on a run-to-run basis, which is compatible with the conventional complementary metal-oxide-semiconductor circuit requirements. | |
| キーワード | （和） | グラフェン / ナノエレクトロメカニカルシステム / スイッチ / / / / / |
| （英） | Graphene / NEMS / Switch / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 442, ED2014-145, pp. 39-43, 2015年2月. | |
| 資料番号 | ED2014-145 | |
| 発行日 | 2015-01-29 (ED, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2014-145 SDM2014-154 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM ED |
| 開催期間 | 2015-02-05 - 2015-02-06 |
| 開催地（和） | 北海道大学（百年記念会館） |
| 開催地（英） | Hokkaido Univ. |
| テーマ（和） | 機能ナノデバイスおよび関連技術 |
| テーマ（英） | Functional nanodevices and related technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2015-02-SDM-ED |
| 本文の言語 | 英語 |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Low pull-in voltage graphene nanoelectromechanical switch |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | グラフェン / Graphene |
| キーワード(2)（和/英） | ナノエレクトロメカニカルシステム / NEMS |
| キーワード(3)（和/英） | スイッチ / Switch |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 孫 健 / Jian Sun / スン ジアン |
| 第1著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学 (略称： 北陸先端大) Japan Advanced Institute of Science and Technology (略称： JAIST) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 兼竹 望 / Nozomu Kanetake / カネタケ ノゾム |
| 第2著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学 (略称： 北陸先端大) Japan Advanced Institute of Science and Technology (略称： JAIST) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 筑葉 拓生 / Takuo Chikuba / チクバ タクオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学 (略称： 北陸先端大) Japan Advanced Institute of Science and Technology (略称： JAIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | ムルガナタン マノハラン / Manoharan Muruganathan / ムルガナタン マノハラン |
| 第4著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学 (略称： 北陸先端大) Japan Advanced Institute of Science and Technology (略称： JAIST) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 水田 博 / Hiroshi Mizuta / ミズタ ヒロシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 北陸先端科学技術大学院大学 (略称： 北陸先端大) Japan Advanced Institute of Science and Technology (略称： JAIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-02-05 17:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2014-145, SDM2014-154 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.442(ED), no.443(SDM) |
| ページ範囲 | pp.39-43 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2015-01-29 (ED, SDM) |
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