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講演抄録/キーワード
講演名 2015-02-06 10:40
高速印刷技術を用いた微細トップゲート型カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製
前田迪彦樋口健太郎岸本 茂名大)・外村卓也武居正史畑 克彦バンドー化学)・大野雄高名大ED2014-149 SDM2014-158 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2014-149 SDM2014-158
抄録 (和) 高速印刷技術であるフレキソ印刷を用いて、短チャネルのトップゲート型カーボンナノチューブ薄膜 トランジスタ(CNT TFT)を作製した。フレキソ印刷は柔軟なポリマー製の版を用いた印刷法であるが、マイクロプ ロセスにより微細なパターンを有するフレキソ版を作製し、印刷の高解像度化を実現した。作製した素子のチャネ ル長は 6.2 μm であり、高いオン電流を示した。また、トップゲート構造によりヒステリシスの低減を確認した。 
(英) We have fabricated short-channel, top-gate carbon nanotube thin-film transistors (CNT TFTs) with flexographic printing technique, a type of high-speed printing technique with a flexible polymer plate. The resolution of the flexographic printing process was improved by fabricating micro-flexo plates with micro process. The channel length of fabricated devices was 6.2 μm, resulting in a high ON-current. The hysteresis was suppressed by introducing the top-gate structure.
キーワード (和) プリンテッドエレクトロニクス / フレキシブルデバイス / カーボンナノチューブ / 薄膜トランジスタ / フレキソ印刷 / / /  
(英) Printed Electronics / Flexible Device / Carbon Nanotube / Thin Film Transistor / Flexographic Printing Technique / / /  
文献情報 信学技報, vol. 114, no. 442, ED2014-149, pp. 63-67, 2015年2月.
資料番号 ED2014-149 
発行日 2015-01-29 (ED, SDM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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PDFダウンロード ED2014-149 SDM2014-158 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2014-149 SDM2014-158

研究会情報
研究会 SDM ED  
開催期間 2015-02-05 - 2015-02-06 
開催地(和) 北海道大学(百年記念会館) 
開催地(英) Hokkaido Univ. 
テーマ(和) 機能ナノデバイスおよび関連技術 
テーマ(英) Functional nanodevices and related technologies 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 ED 
会議コード 2015-02-SDM-ED 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 高速印刷技術を用いた微細トップゲート型カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Fabrication of top-gate carbon nanotube thin-film transistor with short channel by high-speed printing technique 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) プリンテッドエレクトロニクス / Printed Electronics  
キーワード(2)(和/英) フレキシブルデバイス / Flexible Device  
キーワード(3)(和/英) カーボンナノチューブ / Carbon Nanotube  
キーワード(4)(和/英) 薄膜トランジスタ / Thin Film Transistor  
キーワード(5)(和/英) フレキソ印刷 / Flexographic Printing Technique  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 前田 迪彦 / Michihiko Maeda / マエダ ミチヒコ
第1著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 樋口 健太郎 / Kentaro Higuchi / ヒグチ ケンタロウ
第2著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 岸本 茂 / Shigeru Kishimoto / キシモト シゲル
第3著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 外村 卓也 / Takuya Tomura / トムラ タクヤ
第4著者 所属(和/英) バンドー化学株式会社 (略称: バンドー化学)
Bando Chemical Industries, Ltd. (略称: Bando Chemical)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 武居 正史 / Masafumi Takesue / タケスエ マサフミ
第5著者 所属(和/英) バンドー化学株式会社 (略称: バンドー化学)
Bando Chemical Industries, Ltd. (略称: Bando Chemical)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 畑 克彦 / Katsuhiko Hata / ハタ カツヒコ
第6著者 所属(和/英) バンドー化学株式会社 (略称: バンドー化学)
Bando Chemical Industries, Ltd. (略称: Bando Chemical)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 大野 雄高 / Yutaka Ohno / オオノ ユタカ
第7著者 所属(和/英) 名古屋大学 (略称: 名大)
Nagoya University (略称: Nagoya Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2015-02-06 10:40:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 ED 
資料番号 ED2014-149, SDM2014-158 
巻番号(vol) vol.114 
号番号(no) no.442(ED), no.443(SDM) 
ページ範囲 pp.63-67 
ページ数
発行日 2015-01-29 (ED, SDM) 


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