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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-02-06 10:40 高速印刷技術を用いた微細トップゲート型カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製 ○前田迪彦・樋口健太郎・岸本 茂（名大）・外村卓也・武居正史・畑 克彦（バンドー化学）・大野雄高（名大）  ED2014-149 SDM2014-158 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2014-149 SDM2014-158 |
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| 抄録 | （和） | 高速印刷技術であるフレキソ印刷を用いて、短チャネルのトップゲート型カーボンナノチューブ薄膜 トランジスタ(CNT TFT)を作製した。フレキソ印刷は柔軟なポリマー製の版を用いた印刷法であるが、マイクロプ ロセスにより微細なパターンを有するフレキソ版を作製し、印刷の高解像度化を実現した。作製した素子のチャネ ル長は 6.2 μm であり、高いオン電流を示した。また、トップゲート構造によりヒステリシスの低減を確認した。 |
| （英） | We have fabricated short-channel, top-gate carbon nanotube thin-film transistors (CNT TFTs) with flexographic printing technique, a type of high-speed printing technique with a flexible polymer plate. The resolution of the flexographic printing process was improved by fabricating micro-flexo plates with micro process. The channel length of fabricated devices was 6.2 μm, resulting in a high ON-current. The hysteresis was suppressed by introducing the top-gate structure. | |
| キーワード | （和） | プリンテッドエレクトロニクス / フレキシブルデバイス / カーボンナノチューブ / 薄膜トランジスタ / フレキソ印刷 / / / |
| （英） | Printed Electronics / Flexible Device / Carbon Nanotube / Thin Film Transistor / Flexographic Printing Technique / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 114, no. 442, ED2014-149, pp. 63-67, 2015年2月. | |
| 資料番号 | ED2014-149 | |
| 発行日 | 2015-01-29 (ED, SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2014-149 SDM2014-158 エレソ技報アーカイブへのリンク：ED2014-149 SDM2014-158 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM ED |
| 開催期間 | 2015-02-05 - 2015-02-06 |
| 開催地（和） | 北海道大学（百年記念会館） |
| 開催地（英） | Hokkaido Univ. |
| テーマ（和） | 機能ナノデバイスおよび関連技術 |
| テーマ（英） | Functional nanodevices and related technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2015-02-SDM-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 高速印刷技術を用いた微細トップゲート型カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of top-gate carbon nanotube thin-film transistor with short channel by high-speed printing technique |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | プリンテッドエレクトロニクス / Printed Electronics |
| キーワード(2)（和/英） | フレキシブルデバイス / Flexible Device |
| キーワード(3)（和/英） | カーボンナノチューブ / Carbon Nanotube |
| キーワード(4)（和/英） | 薄膜トランジスタ / Thin Film Transistor |
| キーワード(5)（和/英） | フレキソ印刷 / Flexographic Printing Technique |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 前田 迪彦 / Michihiko Maeda / マエダ ミチヒコ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 樋口 健太郎 / Kentaro Higuchi / ヒグチ ケンタロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岸本 茂 / Shigeru Kishimoto / キシモト シゲル |
| 第3著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 外村 卓也 / Takuya Tomura / トムラ タクヤ |
| 第4著者 所属（和/英） | バンドー化学株式会社 (略称： バンドー化学) Bando Chemical Industries, Ltd. (略称： Bando Chemical) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 武居 正史 / Masafumi Takesue / タケスエ マサフミ |
| 第5著者 所属（和/英） | バンドー化学株式会社 (略称： バンドー化学) Bando Chemical Industries, Ltd. (略称： Bando Chemical) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 畑 克彦 / Katsuhiko Hata / ハタ カツヒコ |
| 第6著者 所属（和/英） | バンドー化学株式会社 (略称： バンドー化学) Bando Chemical Industries, Ltd. (略称： Bando Chemical) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大野 雄高 / Yutaka Ohno / オオノ ユタカ |
| 第7著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Nagoya University (略称： Nagoya Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-02-06 10:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2014-149, SDM2014-158 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | no.442(ED), no.443(SDM) |
| ページ範囲 | pp.63-67 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2015-01-29 (ED, SDM) |
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