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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-06-19 14:10 Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定 ○富田昇太（同志社大）・柳谷隆彦・鈴木雅視（早大）・高柳真司・松川真美（同志社大）  US2015-20 |
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| 抄録 | （和） | Brillouin散乱法は試料中を伝搬する音速および屈折率を測定する技術として知られている．この手法は非破壊・非接触で測定を行うことができ，また薄膜材料に対しても有効である．今回，我々は90Rおよび180º散乱配置という2つの光学散乱配置を組み合わせて，c軸配向ScAlN薄膜の厚み方向に伝搬する音速と常屈折率の測定を試みたので報告する． |
| （英） | A Brillouin scattering technique for the simultaneous measurement of acoustic wave velocities and refractive indices is proposed. This nondestructive technique is attractive for the evaluation of the thin film materials. In this study, wave velocities in the thickness direction and ordinary refractive index were obtained by a combination of 90R and 180° (90R+180°) scattering geometries. We experimentally demonstrated the applicability of this technique to the measurement of c-axis oriented ScAlN films. | |
| キーワード | （和） | Brillouin散乱 / ScAlN薄膜 / 音速 / 屈折率 / / / / |
| （英） | Brillouin scattering / ScAlN thin film / Acoustic wave velocity / Refractive index / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 102, US2015-20, pp. 23-28, 2015年6月. | |
| 資料番号 | US2015-20 | |
| 発行日 | 2015-06-12 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2015-20 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2015-06-19 - 2015-06-19 |
| 開催地（和） | 熊本大学 |
| 開催地（英） | Kumamoto University |
| テーマ（和） | 医用超音波，アコースティックイメージング，一般 (共催：日本超音波医学会・基礎技術研究会，日本音響学会アコースティックイメージング研究会) |
| テーマ（英） | Ultrasonics in Medicine, Acoustic Imaging, General |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2015-06-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Simultaneous measurement of acoustic wave velocity and ordinary refractive index of c-axis oriented films by Brillouin scattering technique |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | Brillouin散乱 / Brillouin scattering |
| キーワード(2)（和/英） | ScAlN薄膜 / ScAlN thin film |
| キーワード(3)（和/英） | 音速 / Acoustic wave velocity |
| キーワード(4)（和/英） | 屈折率 / Refractive index |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 富田 昇太 / Shota Tomita / トミタ ショウタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisha University (略称： Doshisha Univ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 雅視 / Masashi Suzuki / スズキ マサシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高柳 真司 / Shinji Takayanagi / タカヤナギ シンジ |
| 第4著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisha University (略称： Doshisha Univ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松川 真美 / Mami Matsukawa / マツカワ マミ |
| 第5著者 所属（和/英） | 同志社大学 (略称： 同志社大) Doshisha University (略称： Doshisha Univ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-06-19 14:10:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2015-20 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.102 |
| ページ範囲 | pp.23-28 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-06-12 (US) |
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