講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-10-23 11:10
[招待講演]スピン偏極走査電子顕微鏡による磁気デバイス解析 ~ 電子スピンを検出する微小領域の磁化測定 ~ ○孝橋照生(日立) MR2015-21 エレソ技報アーカイブへのリンク:MR2015-21 |
抄録 |
(和) |
スピン偏極走査電子顕微鏡(スピンSEM)は強磁性体試料から放出される二次電子のスピン偏極度を検出する磁区観察装置である.他の磁区観察手法と比較し,10nmを超える空間分解能,磁化方向を空間3成分で解析可能,試料形状への制限の緩さ,などの特長を有し,これまで磁性物理の探究を目的とした基礎分野,あるいは磁気デバイスの発展を目的とした応用分野等,様々な方面で活用されてきた.本稿では,スピンSEMの原理と構造を簡単に紹介した後,いくつかの測定例を示す. |
(英) |
Spin-Polarized Scanning Electron Microscopy (Spin SEM) is one way for observing magnetic domain structures taking advantage of the spin polarization of the secondary electrons emitted from a ferromagnetic sample. This principle brings us several excellent capabilities such as high-spatial resolution better than 10 nm, and analysis of magnetization direction in three dimensions. In this paper, the principle and the structure of the spin SEM is briefly introduced, and some examples of the spin SEM measurements are shown. |
キーワード |
(和) |
スピン / 磁区 / 2次電子 / 走査電子顕微鏡 / / / / |
(英) |
spin / magnetic domain / secondary electron / scanning electron microscopy / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 115, 2015年10月. |
資料番号 |
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発行日 |
2015-10-15 (MR) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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査読に ついて |
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