講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-10-30 14:25
ステップコアLP21モード変換器に向けたコアエッチング導波路の予備的検討 ○坂田亮介・田邉和大・田中 遼・姜 海松・浜本貴一(九大) OCS2015-65 OPE2015-115 LQE2015-84 エレソ技報アーカイブへのリンク:OPE2015-115 LQE2015-84 |
抄録 |
(和) |
次世代の光伝送技術としてモード多重伝送方式の研究が活発化している。なかでもMMI光導波路を用いたモード変換器は製作が比較的容易で集積性に優れるが、垂直方向へのモード拡張が困難という課題があった。そこで我々は導波路にステップコア構造を設け、縦方向に多モード干渉を生じさせることで高次のモードであるLP21モードを実現するモード変換器を提案している。本変換器の実現には導波路コア上部を直接エッチングする必要があるが、コア上部を直接ドライエッチングしてしまうと、伝搬損失増大をもたらす可能性がある。そこで今回、予備的検討として、コア上部エッチングを施した導波路の導波路伝搬損失を評価したので報告する。 |
(英) |
Multi-mode division multiplexing (MDM) has been researched as next generation transmission system technology. Among them, MMI mode converter is attractive because of its relatively simple structure, and we have proposed LP21 mode converter that utilized multi-mode interference in, not only lateral, transverse direction. To attain this step-core structure, the core-top is etched down, however, the top-etch process especially in plasma may cause critical damage that results in enormous propagation loss. To verify this issue preliminarily, propagation loss of core-top etched Si/SiO2 waveguide was evaluated in this paper. |
キーワード |
(和) |
光導波路 / 光モード変換器 / コアエッチング / 伝搬損失 / / / / |
(英) |
Waveguide / Optical Mode Converter / Core-Etching / Propagation Loss / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 277, OPE2015-115, pp. 123-126, 2015年10月. |
資料番号 |
OPE2015-115 |
発行日 |
2015-10-22 (OCS, OPE, LQE) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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