講演抄録/キーワード |
講演名 |
2015-11-07 11:50
金属酸化物薄膜堆積のための触媒反応生成高エネルギーH2Oビーム ○寺口祐介・田島諒一・中村友紀・高橋一匡・玉山泰宏・安井寛治(長岡技科大) CPM2015-100 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2015-100 |
抄録 |
(和) |
白金ナノ粒子表面での水素と酸素の燃焼反応を利用して高エネルギーH2Oを生成しラバールノズルによりビーム状に噴出,気相中でアルキル亜鉛ガスと反応させ高エネルギーZnOプリカーサを生成後,金属酸化物薄膜を作製するCVD装置のノズル構造について検討した.圧縮性流れの理論に基づきラバールノズルの末広開口角50o, 60o, 90oについてH2Oビームのエネルギー状態を計算したところ,すべての開口角でノズル出口でのマッハ数は5を超え極超音速流が作られていることがわかった.またスケーリングパラメータを算出しそれをもとに平均クラスターサイズを求めたところクラスターサイズは1以下であり本CVD法においてH2Oビーム中にクラスターは殆ど形成されていないと推察された.さらに末広開口角50o, 60o, 90oのラバールノズルを用いて堆積したZnO膜についてX線回折測定とHall効果測定により結晶配向性と電気的特性を調べた. |
(英) |
De Laval nozzle structure in a CVD apparatus using a high-energy H2O produced by a Pt-catalyzed H2 and O2 reaction, meant for the growth of metal oxide thin films, was studied based on theory of compressive gas flow. Mach numbers, reduced scaling parameters and mean cluster sizes of the H2O beams generated at divergent aperture angles between 50° and 90° were theoretically evaluated. The reduced scaling parameters of the H2O beams for all angles were calculated to be less than 200 and the mean cluster sizes were estimated to be less than one irrespective of the divergent aperture angle of the nozzle, suggesting that clusters are not formed in the H2O beam in our apparatus. The crystallinity and electrical properties of the zinc oxide films grown using various divergent aperture angles were also evaluated. |
キーワード |
(和) |
触媒反応 / 高エネルギーH2Oビーム / ラバールノズル / クラスターサイズ / ZnO薄膜 / / / |
(英) |
catalytic reaction / high-temperature H2O / de Laval nozzle / cluster size / zinc oxide / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 115, no. 297, CPM2015-100, pp. 75-79, 2015年11月. |
資料番号 |
CPM2015-100 |
発行日 |
2015-10-30 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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