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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-03-02 10:30 Self-Aligned Quadruple Patterningのための3色グリッド上の異色ネットを考慮した配線手法 ○本江俊幸・高橋篤司（東工大）  VLD2015-135 |
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| 抄録 | （和） | Self-Aligned Quadruple Patterning(SAQP)は半導体の微細化限界を超える為の有望な技術の一つである． 本論文では，ネットのピン配置の制限を緩和した場合でもSAQPで製造可能な配線パターンを生成する手法を提案する． この提案手法は，あらかじめ一部に色を塗った3色グリッドを用いる配線手法の拡張である． 3色グリッドを用いる配線手法では，ネットは同色グリッド間に制限され，異色グリッド間のネットは考慮されていなかった． 提案手法では，異色ネットのピンを拡張しグリッド構造を部分的に修正することで，異色グリッド間の配線を可能にする． |
| （英） | Self-Aligned Quadruple Patterning (SAQP) is an important manufacturing technique for sub 14 nm technology node. In this paper, we propose a grid routing method using partially three colored grid, which enables us to generate routing pattern that can be manufactured by SAQP process. Our proposed method is an extension of a grid routing method in which pin location of a net is restricted. In our proposed method, nets with more general pin location are allowed and routed by modifying partially three colored grid locally. An obtained routing pattern is guaranteed to be manufactured by SAQP process. |
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| キーワード | （和） | SAQP / 配線 / 折れ曲がり制約 / ピン配置 / / / / |
| （英） | SAQP / routing / bend constraint / pin locate / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 465, VLD2015-135, pp. 137-142, 2016年2月. | |
| 資料番号 | VLD2015-135 | |
| 発行日 | 2016-02-22 (VLD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | VLD2015-135 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD |
| 開催期間 | 2016-02-29 - 2016-03-02 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawa Seinen Kaikan |
| テーマ（和） | システムオンシリコンを支える設計技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | VLD |
| 会議コード | 2016-02-VLD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Self-Aligned Quadruple Patterningのための3色グリッド上の異色ネットを考慮した配線手法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Self-Aligned Quadruple Patterning-Aware Three-Color Grid Routing with Different Color Net |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | SAQP / SAQP |
| キーワード(2)（和/英） | 配線 / routing |
| キーワード(3)（和/英） | 折れ曲がり制約 / bend constraint |
| キーワード(4)（和/英） | ピン配置 / pin locate |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 本江 俊幸 / Toshiyuki Hongo / ホンゴウ トシユキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高橋 篤司 / Atsushi Takahashi / タカハシ アツシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京工業大学 (略称： 東工大) Tokyo Institute of Technology (略称： Tokyo Tech) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-03-02 10:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | VLD |
| 資料番号 | VLD2015-135 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.465 |
| ページ範囲 | pp.137-142 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2016-02-22 (VLD) |
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