講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-04-18 11:50
PZTを圧電材料とするダイアフラム型振動子による超音波送受信の特性解析 ○石黒裕也・Jing Zhu・大久保 毅・田川憲男(首都大東京) US2016-3 |
抄録 |
(和) |
PZTを圧電材料とするダイアフラム型超音波振動子の検討を行った.所望の周波数を実現するために,まず,ダイアフラムのサイズを設定し,PZT及びSi層の厚さを最適化する.両層の厚みを変えて,送信効率(振動幅),受信感度(圧電電圧/電荷),周波数帯域を有限要素法シミュレータにより解析した.また,厚み振動を利用する場合との比較を行い,ダイアフラム型の優位性と今後の課題点を確認した. |
(英) |
We examine diaphragm oscillator using PZT. To achieve the desired frequency, firstly, we set the size of the diaphragm and optimize the thickness of the PZT and Si layers. Changing the thickness of both layers, we analyze transmission efficiency (vibration width), the reception sensitivity (piezoelectric voltage / charge) and frequency band using the finite element method simulator. In addition, we make a comparison with the case of using the thickness vibration and confirm the diaphragm type of superiority and future tasks. |
キーワード |
(和) |
PZT薄膜 / ダイアフラム型振動子 / 送受信特性解析 / / / / / |
(英) |
thin film of PZT / diaphragm type oscillator / performance analysis of T/R / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 116, no. 5, US2016-3, pp. 13-16, 2016年4月. |
資料番号 |
US2016-3 |
発行日 |
2016-04-11 (US) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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US2016-3 |