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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-04-21 16:25 ナノ微粒子用原子層堆積装置の試作と評価 ○菊地 航・鹿又健作・三浦正範・有馬 ボシル アハンマド・久保田 繁・廣瀬文彦（山形大）  ED2016-5 |
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| 抄録 | （和） | 粒子表面の改質として原子層堆積法(Atomic layer deposition : ALD)が注目されている。我々は、tetrakis(dimethylamino)titanium (TDMAT)とプラズマ励起水蒸気を用いて、ナノ微粒子表面に酸化チタン(TiO2)膜を室温形成する原子層堆積法を開発した。微粒子に対しALDを行うにあたり、粒子同士の凝集を防ぐ機構として撹拌板を反応室内に設置した。Si基板上で行った成膜実験では、完全酸化状態のTiO2の成膜が確認され、1サイクルあたりの成長膜厚は0.25 nm/cycleと測定された。100 nm金ナノ粒子を対象とした成膜実験では、本研究で開発した撹拌板による粒子の撹拌効果及び、ナノ粒子表面でのTiO2の成膜を確認した。 |
| （英） | Metal oxide modification on nanoparticles has attracted attention to achieve new surface functions on them. Room-temperature atomic layer deposition (ALD) of titanium dioxide (TiO2) on Au nanoparticles was developed using tetrakis(dimethylamino)titanium (TDMAT) and plasma-excited water vaper. To avoid the aggregation of nanoparticles during ALD, a rotating scraper as a mixer was was placed in the reaction chamber. Complete oxidation state of TiO2 formed on the Si substrate was confirmed. The growth rate was measured to be 0.25 nm/cycle at room temperature. TiO2 film formed by ALD was covered on the Au nanoparticles with a diameter of 100nm. | |
| キーワード | （和） | 原子層堆積法 / ナノ粒子 / TiO2 / プラズマ励起水蒸気 / / / / |
| （英） | ALD / nanoparticle / TiO2 / Plasma-excited water vapor / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, no. 14, ED2016-5, pp. 17-20, 2016年4月. | |
| 資料番号 | ED2016-5 | |
| 発行日 | 2016-04-14 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2016-5 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2016-04-21 - 2016-04-22 |
| 開催地（和） | 山形大学工学部 有機EL研究センター 4F大会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 有機デバイス、酸化物デバイス、一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2016-04-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ナノ微粒子用原子層堆積装置の試作と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Room-temperature atomic layer deposition of TiO2 on nanoparticles |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 原子層堆積法 / ALD |
| キーワード(2)（和/英） | ナノ粒子 / nanoparticle |
| キーワード(3)（和/英） | TiO2 / TiO2 |
| キーワード(4)（和/英） | プラズマ励起水蒸気 / Plasma-excited water vapor |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 菊地 航 / Ko Kikuchi / キクチ コウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 有馬 ボシル アハンマド / Bashir Ahmmad Arima / アリマ ボシル アハンマド |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久保田 繁 / Shigeru Kubota / クボタ シゲル |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ ヒミヒコ |
| 第6著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-04-21 16:25:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2016-5 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.14 |
| ページ範囲 | pp.17-20 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-04-14 (ED) |
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