講演抄録/キーワード |
講演名 |
2016-05-19 13:00
ドライ転写技術によるナノキャビティ上へのCVD単層グラフェンダイアフラムの製作 ○石田隼斗・石田 誠(豊橋技科大)・澤田和明・高橋一浩(豊橋技科大/豊橋技科大EIIRIS) ED2016-13 CPM2016-1 SDM2016-18 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2016-13 CPM2016-1 SDM2016-18 |
抄録 |
(和) |
近年CVDグラフェンを任意基板上に転写する技術に関する研究は盛んに行われている。本研究では、グラフェンの共振器デバイスへの応用に向けた、簡易かつ低温でのドライ転写方式を提案した。その結果、キャビティをCVD単層グラフェンによる封止型ドラム構造の製作に成功し、キャビティサイズは最大直径6 m、最小深さ670 nmを達成した。ラマンスペクトル測定結果において、2D/G比は1.88を示し、Dピークはほとんどみられず、高品質な単層グラフェンのキャビティ封止型ドラム構造の製作に成功した。また、PMMA起因のラマンピークは確認されなかったことから、提案するドライ転写におけるキャビティ封止型ドラム構造の形成において、液体でのPMMA除去は有効であることが実証された。 |
(英) |
Recent research on a technique for transferring a CVD graphene on any substrate has been actively conducted. In this work, for the application of the resonator device of graphene, we proposed a dry transfer technique with a simple and low temperature. As a result, we succeeded cavity fabrication of edge-clamped drum structure by transferring CVD single-layer graphene, the cavity size was achieved to be maximum diameter of 6 m and the minimum depth of 670 nm. We obtained Raman spectrum with 2D / G ratio of 1.88 and few D peak, which indicated that the edge-clamped drum structure of the high-quality single-layer graphene was achieved. Further, by observation of Raman spectrum, we experimentally demonstrated the usability of PMMA removal in liquid in the fabrication of edge-clamped drum structure using dry transfer with PMMA. |
キーワード |
(和) |
NEMS / MEMS / グラフェン / ドライ転写 / / / / |
(英) |
NEMS / MEMS / graphene / dry transfer / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 116, no. 50, SDM2016-18, pp. 1-4, 2016年5月. |
資料番号 |
SDM2016-18 |
発行日 |
2016-05-12 (ED, CPM, SDM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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PDFダウンロード |
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