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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-11-19 11:15 Microwaveを用いた溶液成長法によるZnO薄膜堆積 ○吉谷地優聴・高野 泰（静岡大）  CPM2016-72 |
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| 抄録 | （和） | 溶液成長法によりZnO薄膜を堆積させた。基板の処理や反応溶液の加熱にMicrowaveを用いて堆積させたZnO薄膜と、Microwaveを用いずにオイルバスで堆積させたZnO薄膜との比較をした。走査電子顕微鏡により、堆積条件を変えることで薄膜の表面モホロジーに違いが現れることが分かった。また、XRD測定により結晶の配向にも違いがみられた。 |
| （英） | Zinc oxide (ZnO) film has been deposited using chemical bath deposition (CBD).We compared ZnO fims deposited by microwave heating of the substrate and reaction mixture with ZnO films deposited using oil bath srirrer. The thin films were investigated by secondary electoron microscopy, SEM and x-ray diffraction, XRD measurement. We obtained ZnO thin films which have various morphology by using microwave. | |
| キーワード | （和） | ZnO / 溶液成長法(CBD) / II-VI族化合物 / Microwave / / / / |
| （英） | zinc oxide / chemical bath deposition / II-VI compound semiconductor / Microwave / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, no. 311, CPM2016-72, pp. 55-58, 2016年11月. | |
| 資料番号 | CPM2016-72 | |
| 発行日 | 2016-11-11 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2016-72 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2016-11-18 - 2016-11-19 |
| 開催地（和） | 金沢工大 扇が丘キャンパス |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2016-11-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Microwaveを用いた溶液成長法によるZnO薄膜堆積 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Microwave activated chemical bath deposition of ZnO thin films |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ZnO / zinc oxide |
| キーワード(2)（和/英） | 溶液成長法(CBD) / chemical bath deposition |
| キーワード(3)（和/英） | II-VI族化合物 / II-VI compound semiconductor |
| キーワード(4)（和/英） | Microwave / Microwave |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉谷地 優聴 / Hiroaki Yoshiyachi / ヨシヤチ ヒロアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 高野 泰 / Yasushi Takano / タカノ ヤスシ |
| 第2著者 所属（和/英） | 静岡大学 (略称： 静岡大) Shizuoka University (略称： Shizuoka Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-11-19 11:15:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2016-72 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.311 |
| ページ範囲 | pp.55-58 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-11-11 (CPM) |
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