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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2016-12-13 13:25 室温原子層堆積法によるTiO2チャネルTFTの試作と光センサへの応用 ○菊地 航・三浦正範・鹿又健作・有馬 ボシル アハンマド・久保田 繁・廣瀬文彦（山形大）  ED2016-75 CPM2016-108 LQE2016-91 |
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| 抄録 | （和） | 近年、酸化物半導体を用いた各種センサの研究が進められている。TiO2 は透明性のある n 型酸化物 半導体であり、光触媒活性や官能基修飾による分子吸着の制御、生体親和性のある安定物質であるという特性か ら、紫外光センサやガスセンサ、バイオセンサへの応用が検討されている。我々は、室温原子層堆積法を用いて TiO2 を成膜し、それをチャネル層とした薄膜トランジスタ（TFT）を試作した。成膜した TiO2 は 600 ℃のアニー ルによりアナターゼ型の結晶状態を示した。試作した TFT は良好な増幅特性を示し、n 型半導体の動作が確認さ れた。電界効果移動度は 1.72×10-3 cm2/Vs であり、閾値電圧は 3.22 V であった。また可視光紫外光照射試験の結 果から、紫外光に対する導電率変調を示した。本研究の結果から、TiO2 薄膜が紫外線センサの材料として応用が 可能であると示唆された。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 原子層堆積法 / 薄膜トランジスタ / TiO2 / 光センサ / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, no. 357, CPM2016-108, pp. 89-92, 2016年12月. | |
| 資料番号 | CPM2016-108 | |
| 発行日 | 2016-12-05 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2016-75 CPM2016-108 LQE2016-91 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM LQE ED |
| 開催期間 | 2016-12-12 - 2016-12-13 |
| 開催地（和） | 京大桂キャンパス |
| 開催地（英） | Kyoto University |
| テーマ（和） | 窒化物半導体・光電子デバイス・材料、関連技術及び一般 |
| テーマ（英） | Nitride semiconductors, optoelectronic devices, and related materials |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2016-12-CPM-LQE-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 室温原子層堆積法によるTiO2チャネルTFTの試作と光センサへの応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of TiO2 channel TFTs using room temperature atomic layer deposition and their application to light sensor |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 原子層堆積法 / |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜トランジスタ / |
| キーワード(3)（和/英） | TiO2 / |
| キーワード(4)（和/英） | 光センサ / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 菊地 航 / Ko Kikuchi / キクチ コウ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 有馬 ボシル アハンマド / Bashir Ahmmad / アリマ ボシル アハンマド |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久保田 繁 / Shigeru Kubota / クボタ シゲル |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第6著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2016-12-13 13:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | ED2016-75, CPM2016-108, LQE2016-91 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.356(ED), no.357(CPM), no.358(LQE) |
| ページ範囲 | pp.89-92 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-12-05 (ED, CPM, LQE) |
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