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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2017-02-06 11:15 ［招待講演］低温プロセスに向けたマイクロ波加熱処理によるNiGe/Ge接合の形成 ○中塚 理（名大）・渡部佳優（東京エレクトロン）・鈴木陽洋（名大）・西 義雄（Stanford大）・財満鎭明（名大）  SDM2016-141 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, no. 450, SDM2016-141, pp. 11-15, 2017年2月. | |
| 資料番号 | SDM2016-141 | |
| 発行日 | 2017-01-30 (SDM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2016-141 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
| 開催期間 | 2017-02-06 - 2017-02-06 |
| 開催地（和） | 東京大学/本郷 |
| 開催地（英） | Tokyo Univ. |
| テーマ（和） | 配線・実装技術と関連材料技術 |
| テーマ（英） | Interconnects, Package and related materials |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | SDM |
| 会議コード | 2017-02-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 低温プロセスに向けたマイクロ波加熱処理によるNiGe/Ge接合の形成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | NiGe/Ge contact formation by microwave annealing method for low-thermal budget processing |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | / |
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| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中塚 理 / Osamu Nakatsuka / ナカツカ オサム |
| 第1著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Graduate School of Engineering, Nagoya University (略称： Grad. Sch. of Eng., Nagoya University) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡部 佳優 / Yoshimasa Watanabe / ワタナベ ヨシマサ |
| 第2著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン株式会社 (略称： 東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited (略称： TEL) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 陽洋 / Akihiro Suzuki / スズキ アキヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名古屋大学 (略称： 名大) Graduate School of Engineering, Nagoya University (略称： Grad. Sch. of Eng., Nagoya University) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 西 義雄 / Yoshio Nishi / ニシ ヨシオ |
| 第4著者 所属（和/英） | Stanford大学 (略称： Stanford大) Department of Electrical Engineering, Stanford University (略称： Dept. of Electrical Engineering, Stanford University) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 財満 鎭明 / Shigeaki Zaima / |
| 第5著者 所属（和/英） | 名古屋大学未来材料・システム研究所 (略称： 名大) Institute of Materials and Systems for Sustainability, Nagoya University (略称： IMaSS, Nagoya University) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2017-02-06 11:15:00 |
| 発表時間 | 35分 |
| 申込先研究会 | SDM |
| 資料番号 | SDM2016-141 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.450 |
| ページ範囲 | pp.11-15 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2017-01-30 (SDM) |
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