講演抄録/キーワード |
講演名 |
2017-03-02 10:55
LSIマスクパターンに対する近似文字列照合に基づくホットスポット検出手法の高速化 ○玉川宗磨・稲木雅人・永山 忍・若林真一(広島市大) VLD2016-112 |
抄録 |
(和) |
超微細LSI 製造においてはマスクパターン上にLSI の故障を引き起こすパターンであるホットスポットが存在する.
ホットスポットは光学シミュレーションにより検出するが,長時間を要するため,ホットスポット候補の効率的検出手法の開発が望まれる.
既存研究において,1次元パターンの照合手法である類似部分文字列検索を応用したホットスポット候補検出手法が提案されている.
この手法では,一般的に用いられるテンプレートマッチング手法に比べ,柔軟な検出が期待できる一方,類似部分文字列検索で使用する編集距離行列の計算に時間を要する.
そこで本研究では,事前計算結果のテーブル参照による要素計算と,複数要素の同時計算を組み合わせて,編集距離行列の計算を高速化した.
既存手法との比較実験により,既存手法の約11分の1の計算時間の達成を確認した. |
(英) |
In nanoscale LSI fabrication, there exists a pattern on the mask pattern, called a hotspot, which leads to a failure.
Hotspots are detected by optical simulation.
However, it takes very long time.
Therefore, some studies have been conducted to realize efficient hotspot candidate detection.
In an existing study, a hotspot candidate detection method based on approximate string search, which is a one-dimensional pattern matching technique, was proposed.
In this method, while more flexible hotspot detection compared to commonly used template matching can be expected, this method takes more time to calculate the edit distance matrix in approximate string search.
In this study, we improved the calculation speed of the edit distance matrix, by a combination of a table reference-based calculation of an element of the matrix, and a parallel calculation of multiple elements.
As a result of evaluation experiments, we confirmed that our method achieved about 1/11 calculation time, compared to the existing method. |
キーワード |
(和) |
ホットスポット / 光学シミュレーション / 類似部分文字列検索 / / / / / |
(英) |
Hotspot / Optical simulation / Approximate string search / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 116, no. 478, VLD2016-112, pp. 61-66, 2017年3月. |
資料番号 |
VLD2016-112 |
発行日 |
2017-02-22 (VLD) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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