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| 講演名 | 2017-03-02 15:50 ［依頼講演］60GHz帯における空洞共振器法を用いた低誘電率フィルムの複素誘電率の高精度評価技術 ○清水隆志・小島駿佑・古神義則（宇都宮大）  MW2016-200 ICD2016-130 |
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| 抄録 | （和） | 優れた特性を有する低誘電率フィルムのミリ波帯における複素誘電率の正確な値が回路設計者や材料開発者に求められている。しかしながら、ミリ波領域における誘電体フィルムの測定法はほとんど報告されていない。本報告では、新たに開発した60GHz帯空洞共振器を用いた誘電体フィルムの高精度評価手法を提案する。共振電磁界に悪影響を及ぼさない励振線挿入孔を有する60GHz帯空洞共振器を開発し、提案手法により6種類の誘電体フィルムの複素誘電率測定を行った。その測定結果および不確かさ解析結果により、提案共振器を用いた測定法が高精度かつ有効であることを実証した。さらに、本法により、試料厚さ10mまでの誘電体フィルムの複素誘電率測定が可能であることを示した。 |
| （英） | In order to realize modern millimeter wave applications, the accurate value of complex permittivity of low permittivity dielec-tric films with excellent characteristics are needed by circuit designers and material developers. However, there are few ac-curate measurement methods for dielectric films in the millimeter wave region. In this paper, an accurate evaluation tech-nique for thin dielectric films using a novel V band cavity in 60 GHz band is proposed on the basis of a cavity resonator method. The novel V band cavity with small excitation holes, which does not affect the resonant electromagnetic fields, is designed and fabricated. The six kinds of thin dielectric film were measured by the proposed technique using the novel cavi-ty. The measured results and the uncertainty analysis validate the accuracy and the usefulness of the proposed method. Moreover, it was verified that this technique can evaluate thin samples with thicknesses of 10 m or more. | |
| キーワード | （和） | 空洞共振器法 / 複素誘電率 / 低損失誘電体材料 / ミリ波 / / / / |
| （英） | Cavity resonator method / Complex permittivity / Low-loss dielectric materials / Millimeter-wave / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 116, no. 486, MW2016-200, pp. 67-72, 2017年3月. | |
| 資料番号 | MW2016-200 | |
| 発行日 | 2017-02-23 (MW, ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2016-200 ICD2016-130 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW ICD |
| 開催期間 | 2017-03-02 - 2017-03-03 |
| 開催地（和） | 岡山県立大学 |
| 開催地（英） | Okayama Prefectural Univ. |
| テーマ（和） | マイクロ波集積回路／マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | Microwave Integrated Circuit / Microwave Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2017-03-MW-ICD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 60GHz帯における空洞共振器法を用いた低誘電率フィルムの複素誘電率の高精度評価技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Accurate Evaluation Technique of Complex Permittivity for Low Permittivity Dielectric Films using a Cavity Resonator Method in 60 GHz band |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 空洞共振器法 / Cavity resonator method |
| キーワード(2)（和/英） | 複素誘電率 / Complex permittivity |
| キーワード(3)（和/英） | 低損失誘電体材料 / Low-loss dielectric materials |
| キーワード(4)（和/英） | ミリ波 / Millimeter-wave |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 隆志 / Takashi Shimizu / シミズ タカシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 宇都宮大学 (略称： 宇都宮大) Utsunomiya University (略称： Utsunomiya Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小島 駿佑 / Shunsuke Kojima / コジマ シュンスケ |
| 第2著者 所属（和/英） | 宇都宮大学 (略称： 宇都宮大) Utsunomiya University (略称： Utsunomiya Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 古神 義則 / Yoshinori Kogami / コガミ ヨシノリ |
| 第3著者 所属（和/英） | 宇都宮大学 (略称： 宇都宮大) Utsunomiya University (略称： Utsunomiya Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2017-03-02 15:50:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | MW2016-200, ICD2016-130 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | no.486(MW), no.487(ICD) |
| ページ範囲 | pp.67-72 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-02-23 (MW, ICD) |
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