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| 講演名 | 2017-04-20 13:00 ［招待講演］ナノドット型恒久メモリーの研究 ○渡邊 強・三浦典之・劉 施佳・今井繁規・永田 真（神戸大）  ICD2017-4 エレソ技報アーカイブへのリンク：ICD2017-4 |
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| 抄録 | （和） | ワード線、ビット線の交差部分に配したナノドットの静電容量をデータとして読み取る恒久メモリーを考案し、0.18m CMOSプロセスで作製したテストチップを用いて、読み取り特性の1000年以上の耐久性を検証した。更に、EBL、NILを用いてナノドット、読み取り配線を微細化することにより、1.3Tbit/in2の高密度化が可能であることを明らかにした。 |
| （英） | We propose a permanent digital memory system in which data is saved by a presence of metal nano-dot at interconnects of word line and bit line. The data is retrieved by mutual capacitance difference due to the nano-dot presence. A test chip is prepared by 0.18μm CMOS process. Its read-out properties have over 1000-years durability which is verified by aging acceleration test. It is shown that an areal density of memory can be increased up to 1.3Tbit/in2 by miniaturization of nano-dots and word/bit lines using EB lithography and nanoimprint lithography. | |
| キーワード | （和） | 恒久メモリー / ナノドット / EBリソグラフィー / ナノインプリントリソグラフィー / / / / |
| （英） | Permanent memory / nano-dot / EB lithography / Nanoimprint lithography / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 9, ICD2017-4, pp. 17-22, 2017年4月. | |
| 資料番号 | ICD2017-4 | |
| 発行日 | 2017-04-13 (ICD) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ICD2017-4 エレソ技報アーカイブへのリンク：ICD2017-4 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
| 開催期間 | 2017-04-20 - 2017-04-21 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | メモリ技術と集積回路関連一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ICD |
| 会議コード | 2017-04-ICD |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ナノドット型恒久メモリーの研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study on Nano-Dot Structure Permanent Memory |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 恒久メモリー / Permanent memory |
| キーワード(2)（和/英） | ナノドット / nano-dot |
| キーワード(3)（和/英） | EBリソグラフィー / EB lithography |
| キーワード(4)（和/英） | ナノインプリントリソグラフィー / Nanoimprint lithography |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡邊 強 / Tsuyoshi Watanabe / ワタナベ ツヨシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 典之 / Noriyuki Miura / ミウラ ノリユキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 劉 施佳 / Shijia Liu / リュウ シカ |
| 第3著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 今井 繁規 / Shigeki Imai / イマイ シゲキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永田 真 / Makoto Nagata / ナガタ マコト |
| 第5著者 所属（和/英） | 神戸大学 (略称： 神戸大) Kobe University (略称： Kobe Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2017-04-20 13:00:00 |
| 発表時間 | 50分 |
| 申込先研究会 | ICD |
| 資料番号 | ICD2017-4 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.9 |
| ページ範囲 | pp.17-22 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-04-13 (ICD) |
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