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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2017-04-21 10:00 GaN基板のプラズマ融合CMPプロセス ～ エタノールバブリング・Arプラズマを用いたプラズマ融合CMP特性とその評価 ～ ○山崎直樹（九大/並木精密宝石）・土肥俊郎（九大）・曾田英雄（九大/並木精密宝石）・金 聖祐・大山幸希（並木精密宝石）・黒河周平（九大）・佐野泰久（阪大）・白谷正治・山西陽子（九大）  SDM2017-5 OME2017-5 |
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| 抄録 | （和） | (まだ登録されていません) |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | / / / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 8, OME2017-5, pp. 19-23, 2017年4月. | |
| 資料番号 | OME2017-5 | |
| 発行日 | 2017-04-13 (SDM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | SDM2017-5 OME2017-5 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME SDM |
| 開催期間 | 2017-04-20 - 2017-04-21 |
| 開催地（和） | 龍郷町生涯学習センター |
| 開催地（英） | Tatsugochou Shougaigakushuu Center |
| テーマ（和） | 有機エレクトロニクス、シリコンデバイス、バイオテクノロジー、新規機能性材料、薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス、材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Organic molecular devices, silicon device, biotechnology, thin film device, novel material, evaluation method, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2017-04-OME-SDM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | GaN基板のプラズマ融合CMPプロセス |
| サブタイトル（和） | エタノールバブリング・Arプラズマを用いたプラズマ融合CMP特性とその評価 |
| タイトル（英） | Plasma fusion CMP® technology for GaN substrates |
| サブタイトル（英） | Evaluation of processing characteristics for plasma fusion CMP® using Ar plasma and ethanol bubbling |
| キーワード(1)（和/英） | / |
| キーワード(2)（和/英） | / |
| キーワード(3)（和/英） | / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山崎 直樹 / Naoki Yamazaki / ヤマザキ ナオキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 九州大学/並木精密宝石株式会社 (略称： 九大/並木精密宝石) Kyushu University/Namiki PrecisionJewel Co.,LTD (略称： Kyushu Univ./Namiki PrecisionJewel Co.,LTD) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 土肥 俊郎 / Toshiro Doi / ドイ トシロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 曾田 英雄 / Hideo Aida / アイダ ヒデオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 九州大学/並木精密宝石株式会社 (略称： 九大/並木精密宝石) Kyushu University/Namiki PrecisionJewel Co.,LTD (略称： Kyushu Univ./Namiki PrecisionJewel Co.,LTD) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金 聖祐 / Seongwoo Kim / キム ソンウ |
| 第4著者 所属（和/英） | 並木精密宝石株式会社 (略称： 並木精密宝石) Namiki PrecisionJewel Co.,LTD (略称： Namiki PrecisionJewel Co.,LTD) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大山 幸希 / Koki Oyama / オオヤマ コウキ |
| 第5著者 所属（和/英） | 並木精密宝石株式会社 (略称： 並木精密宝石) Namiki PrecisionJewel Co.,LTD (略称： Namiki PrecisionJewel Co.,LTD) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 黒河 周平 / Shuhei Kurokawa / クロカワ シュウヘイ |
| 第6著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐野 泰久 / Yasuhisa Sano / サノ ヤスヒサ |
| 第7著者 所属（和/英） | 大阪大学 (略称： 阪大) Osaka University (略称： Osaka Univ.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 白谷 正治 / Masaharu Shiratani / シラタニ マサハル |
| 第8著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山西 陽子 / Yoko Yamanishi / ヤマニシ ヨウコ |
| 第9著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2017-04-21 10:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | SDM2017-5, OME2017-5 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.7(SDM), no.8(OME) |
| ページ範囲 | pp.19-23 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2017-04-13 (SDM, OME) |
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