講演抄録/キーワード |
講演名 |
2017-04-21 11:20
エレクトロスプレー法を用いたナノ微粒子薄膜の形成とデバイス応用 ○佐藤航代・三浦正範・廣瀬文彦(山形大) ED2017-14 エレソ技報アーカイブへのリンク:ED2017-14 |
抄録 |
(和) |
ナノ微粒子は体積に対する表面積の割合が同体積のバルクに比較して非常に大きく、微粒子を利用してデバイスを作製することでその性能を向上させることが期待される。本研究では基板に対し低ダメージかつ微粒子を可能な限り薄く密に整列させ、微粒子薄膜を形成するためにエレクトロスプレー法を用いた。ZnO 微粒子薄膜
を形成し、光センサに応用することで高感度な光センサの作製を目指した。試作した光センサの電気的特性の評価の結果、微粒子薄膜を用いた光センサにおいても光に対して有意に光導電効果を示し、微粒子薄膜が光センサとしての適用の可能性を見出したので報告を行う。 |
(英) |
The nanoparticles have a very bigger ratio of surface area for the volume than isovolumic bulk, and it is expected that I improve the performance by manufacturing a device with nanoparticles. In this study, we used electrostatic spray deposition to be thin and high density as possible, and to aligne fine particles for substrate in low damage. We formed fine particles film and aimed at the manufacture of a high sensitive optical sensor.The electrical characteristic result of the optical sensor which
we produced experimentally significantly showed photoconductive effect for light with the optical sensor using the fine particles film. Because we found the possibility of the application as the optical sensor of the fine particles film, we report it. |
キーワード |
(和) |
エレクトロスプレー法 / ナノ微粒子 / ZnO / 光センサ / / / / |
(英) |
electrostatic spray deposition / nanoparticules / ZnO / optical sensor / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 6, ED2017-14, pp. 51-54, 2017年4月. |
資料番号 |
ED2017-14 |
発行日 |
2017-04-13 (ED) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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