講演抄録/キーワード |
講演名 |
2017-07-07 13:00
電解析出法によるFePtナノドットアレイのL10規則化の促進及び微細構造解析 ○神戸茉奈・ヴォダルツ ジギー・橋本尚吾(早大)・Giovanni Zangari(バージニア大)・本間敬之(早大) MR2017-11 エレソ技報アーカイブへのリンク:MR2017-11 |
抄録 |
(和) |
我々はリソグラフィ技術と電解析出法を組み合わせたビットパターンメディア(BPM)の形成手法を検討してきた.従来の検討において単層構造を有するFePtナノドットアレイの形成に成功したが、L10規則化の促進が不十分であることが課題となっていた.そこで本研究ではナノドットアレイにおけるL10規則化の促進を目的としてパルス電析法による多層構造の適用及び第3元素Cu添加によるナノドットアレイの形成及び微細構造解析を試みた.その結果いずれの手法を用いた場合にも,FePtナノドットアレイにおけるL10規則化の促進及び結晶性の向上が確認された. |
(英) |
We have developed fabrication process of ferromagnetic nanodot arrays for bit patterned media (BPM) by using lithography techniques and electrodeposition. In previous work, we achieved fabrication of FePt nanodot arrays which have a Single-layered structure, however, L10 ordering was not sufficient. Therefore, in this work, we attempted to fabricate the FePt nanodot arrays (15 nm diameter, 35 nm pitch) with Multi-layered structure by pulse electrodeposition and FePtCu nanodot arrays by electrodeposition with Cu additives. As a result, enhancement of L10 ordering and improvement of crystalline was observed in both cases. |
キーワード |
(和) |
ビットパターン媒体 / 電解析出法 / 多層構造 / L10規則化促進 / FePtナノドットアレイ / Cu添加 / / |
(英) |
Bit-Patterned Media / Nanodot arrays / Electrodeposition / FePt alloy / Multi-layered structure / Enhancement of L10 Ordering / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 117, 2017年7月. |
資料番号 |
|
発行日 |
2017-06-30 (MR) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
PDFダウンロード |
MR2017-11 エレソ技報アーカイブへのリンク:MR2017-11 |