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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2017-07-27 15:40 ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価 ○山川愉生・佐野耕平・唐澤 嶺（早大）・柳谷隆彦（早大/JST）  US2017-42 |
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| 抄録 | （和） | 液体の緩和特性の研究には，試料に対するMHz帯からGHz帯までの周波数掃引が求められる．しかし，従来のセンサであるQCM(水晶微小天秤)やFBAR(薄膜共振子)はそれぞれMHz帯，GHz帯でのみ機能する．そこで我々は，広範囲の周波数にわたって共振するHBAR(基板付き薄膜共振子)に注目した．ここで，温度環境変化に伴う共振周波数の変化を抑制するために，基板材料にゼロTCFのATカット水晶を用いた．圧電薄膜(-62 ppm/°C)と基板(0 ppm/°C)の比により，HBAR全体のTCFは-3.2 ppm/°Cまで大きく低減した．本報では，さまざまな濃度のグリセリン水溶液をHBARに接触させ，その粘性変化による共振周波数のシフトおよび周波数ピークの減衰をMHz帯からGHz帯まで同時に観測した．その結果，HBAR粘性センサの有用性が検証された． |
| （英） | In order to study relaxation characteristics of viscoelasticity of the liquid, a wide frequency sweep in the range of MHz to GHz is desired. We, therefore, report a new type HBAR (High-overtone Bulk Acoustic Resonator) sensor which makes it possible to operate in a wide frequency range. We choose AT-cut quartz as the substrate whose TCF is zero at room temperature to suppress frequency shifts due to the temperature change. Experimental TCF of the HBAR in air is -3.2 ppm/°C, which demonstrates the great decrease of TCF compared with single ScAlN films (-62 ppm/°C) due to the zero TCF AT-cut quartz substrate. In this study, frequency shifts and frequency peak attenuations were measured for various concentration of glycerin solutions in order to demonstrate usefulness of the HBAR. | |
| キーワード | （和） | 粘性センサ / HBAR / ScAlN / グリセリン / / / / |
| （英） | Viscosity sensors / HBAR / ScAlN / Glycerin / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 155, US2017-42, pp. 61-66, 2017年7月. | |
| 資料番号 | US2017-42 | |
| 発行日 | 2017-07-20 (US) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2017-42 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2017-07-27 - 2017-07-27 |
| 開催地（和） | 岡山大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 物性、一般 (共催：日本レオロジー学会ナノレオロジー研究会・音波と物性討論会) |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2017-07-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Simultaneous viscosity evaluation in the MHz to GHz range by using shear mode HBAR consisting of ScAlN thin film/low TCF substrate |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 粘性センサ / Viscosity sensors |
| キーワード(2)（和/英） | HBAR / HBAR |
| キーワード(3)（和/英） | ScAlN / ScAlN |
| キーワード(4)（和/英） | グリセリン / Glycerin |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 山川 愉生 / Yui Yamakawa / ヤマカワ ユイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐野 耕平 / Ko-hei Sano / サノ コウヘイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 唐澤 嶺 / Rei Karasawa / カラサワ レイ |
| 第3著者 所属（和/英） | 早稲田大学 (略称： 早大) Waseda University (略称： Waseda Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani / ヤナギタニ タカヒコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 早稲田大学, JSTさきがけ (略称： 早大/JST) Waseda University,JST PRESTO (略称： Waseda Univ./JST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2017-07-27 15:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2017-42 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.155 |
| ページ範囲 | pp.61-66 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-07-20 (US) |
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