講演抄録/キーワード |
講演名 |
2017-10-04 14:15
金属インターカレートした2層グラフェンの電気特性と高圧印加による効果 ○倉金夏己・荒木伊久磨・鈴木雅登・永田知子・岩田展幸・高橋博樹・山本 寛(日大) CPM2017-60 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2017-60 |
抄録 |
(和) |
Cu箔上にCVD法を用いて単層グラフェンを作製した。Cu箔は、Fe(NO)3溶液によってエッチングした。単層グラフェンは、SiO2/Si基板上に転写し、単層グラフェン(下層部)//SiO2/Siを作製した。単層グラフェン(上層部)をFe(NO)3または、CaCl2溶液に浸漬させ、単層グラフェン(下層部)//SiO2/Siで掬い上げ転写し単層グラフェン(上層部)/金属原子/単層グラフェン(下層部)//SiO2/Siを作製した。すべての試料で2層グラフェンのG/2D比0.4より高い値となっていた。Fe(NO)3溶液の濃度を0.06 mol/Lで作製した試料の室温でのシート抵抗は、500 kΩ/sq.となり、抵抗温度依存性は、半導体的性質を示した。Fe(NO)3溶液の濃度を0.12 mol/Lで作製した試料の室温でのシート抵抗は、1300Ω/sq.となり、抵抗温度依存性は、合金的性質を示した。CaCl2溶液の濃度を0.12mol/Lで作製した試料の室温でのシート抵抗は、6430Ω/sq.となり、抵抗温度依存性は、合金的性質を示した。 |
(英) |
Single-layered graphene sheets were synthesized on Cu foils by a chemical vapor deposition method. The graphene/Cu foil was dipped in Fe(NO)3 solution to etch the Cu foil and Fe or Ca atoms were left on the graphene using Fe(NO)3 or CaCl2 solutions. Metal intercalated bilayer graphenes were fabricated by accumulating another graphene on the metal adsorbed etched graphene. The G/2D ratio of all samples was higher than 0.4. The metal-intercalated bilayer graphene fabricated using 0.06mol/L and 0.12mol/L of Fe(NO)3 or CaCl2 solutions for adsorption of metal atom. The sheet resistance at room temperature of the sample fabricated using 0.06 mol/L of Fe (NO)3 solution was 500 kΩ/sq. and temperature dependence of a sheet resistance was semiconducting property. The sheet resistance at room temperature of the sample fabricated using 0.12 mol/L of Fe (NO)3 solution was 1300 Ω / sq. and temperature dependence of a sheet resistance was alloy property. The sheet resistance at room temperature of the sample fabricated using 0.12 mol/L of CaCl2 solution was 6430Ω/sq. and temperature dependence of a sheet resistance was alloy property. |
キーワード |
(和) |
化学気相成長法 / グラフェン / 積層 / 2層グラフェン / インターカレート / / / |
(英) |
Chemical Vapor Deposition / Graphene / Deposition / Bi-layers Graphene / Intercalation / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 117, no. 224, CPM2017-60, pp. 5-10, 2017年10月. |
資料番号 |
CPM2017-60 |
発行日 |
2017-09-27 (CPM) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
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