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| 講演名 | 2017-12-01 09:20 プラズマ融合CMPによる大型ダイヤモンド基板の高効率加工とその加工メカニズム ○武田秀俊（並木精密宝石）・土肥俊郎（九大）・金 聖祐（並木精密宝石）・會田英雄（長岡技科大）・白谷正治（九大）  OME2017-35 エレソ技報アーカイブへのリンク：OME2017-35 |
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| 抄録 | （和） | 次世代半導体材料として知られるSiC，GaN，ダイヤモンドは，同時にCMP工程における超難加工材料としても知られている． これらの超難加工材料の高効率加工を実現するため研究開発されたプラズマ融合CMP装置を適用し，その加工特性の調査を行ってきた． 本稿では従来の市販品に比べ大型となる自社製のダイヤモンド基板に対しプラズマ融合CMPを実施し，得られた加工結果について報告する． |
| （英） | SiC, GaN and Diamond are known as next generation semiconductor materials, but on the other hand, these are known as ultra hard processing materials in CMP process. Our research was applying plasma fusion CMP system to these materials and investigating its processing characteristics. In this paper, we reported processing result of own products of diamond single crystal larger than commercial goods using plasma fusion CMP. |
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| キーワード | （和） | プラズマ融合CMP / P-CVM / CMP / ダイヤモンド / グロー放電 / / / |
| （英） | plasma fusion CMP / P-CVM / CMP / Diamond / Glow discharge / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 117, no. 334, OME2017-35, pp. 1-6, 2017年12月. | |
| 資料番号 | OME2017-35 | |
| 発行日 | 2017-11-24 (OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2017-35 エレソ技報アーカイブへのリンク：OME2017-35 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
| 開催期間 | 2017-12-01 - 2017-12-01 |
| 開催地（和） | サンメッセ鳥栖 |
| 開催地（英） | Sun Messe Tosu |
| テーマ（和） | 有機エレクトロニクス、バイオテクノロジー、新規機能性材料、薄膜、機能デバイス、材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Organic molecular devices, biotechnology, thin film, novel material, evaluation method, etc |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2017-12-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | プラズマ融合CMPによる大型ダイヤモンド基板の高効率加工とその加工メカニズム |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High efficiency processing and its processing mechanism of large area diamond substrate due to plasma fusion CMP |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | プラズマ融合CMP / plasma fusion CMP |
| キーワード(2)（和/英） | P-CVM / P-CVM |
| キーワード(3)（和/英） | CMP / CMP |
| キーワード(4)（和/英） | ダイヤモンド / Diamond |
| キーワード(5)（和/英） | グロー放電 / Glow discharge |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 武田 秀俊 / Hidetoshi Takeda / タケダ ヒデトシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 並木精密宝石株式会社 (略称： 並木精密宝石) Namiki Precision Jewel Co., Ltd. (略称： Namiki Precision Jewel Co., Ltd.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 土肥 俊郎 / Toshiro Doi / ドイ トシロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 九州大学GIC (略称： 九大) GIC, Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 金 聖祐 / Seong Woo Kim / キム ソンウ |
| 第3著者 所属（和/英） | 並木精密宝石株式会社 (略称： 並木精密宝石) Namiki Precision Jewel Co., Ltd. (略称： Namiki Precision Jewel Co., Ltd.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 會田 英雄 / Hideo Aida / アイダ ヒデオ |
| 第4著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 白谷 正治 / Masaharu Shiratani / シラタニ マサハル |
| 第5著者 所属（和/英） | 九州大学 (略称： 九大) Kyushu University (略称： Kyushu Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2017-12-01 09:20:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2017-35 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | no.334 |
| ページ範囲 | pp.1-6 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-11-24 (OME) |
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