講演抄録/キーワード |
講演名 |
2018-10-04 13:05
c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出 ○矢崎 花・五月女 巧・唐澤 嶺(早大)・高柳真司(名工大)・吉田憲司(千葉大)・柳谷隆彦(早大) US2018-54 |
抄録 |
(和) |
小型で高感度な生体高分子センサが求められている. ScAlN薄膜のc軸を傾斜させた共振子は横波モードで励振し液体中でも効率よく動作させることができる.さらに,c軸傾斜配向ScAlN薄膜は高い擬似横波の電気機械結合係数k’152を有するため共振ピークが大きくS/N比の高い測定が期待できる.本報告では,RFマグネトロンスパッタ法によりc軸傾斜配向擬似厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を作製し,バイオセンサとしての動作をストレプトアビジン-ビオチン反応を用いて確認した. |
(英) |
Miniature and highly sensitive biosensors are required. c-Axis tilted ScAlN film resonator is suitable for sensing biomolecules in liquid because they can exite quasi-shear mode. We fabricated the resonator using c-axis tilted ScAlN films. Higher k’152 value of ScAlN films makes it possible to improve signal to noise ratio. In this study, the streptavidin-biotin interactions were monitored by using the c-axis tilted ScAlN film quasi-shear mode resonators. |
キーワード |
(和) |
バイオセンサ / ScAlN / QCM / / / / / |
(英) |
biosensor / ScAlN / QCM / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 118, no. 229, US2018-54, pp. 31-35, 2018年10月. |
資料番号 |
US2018-54 |
発行日 |
2018-09-27 (US) |
ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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US2018-54 |