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講演抄録/キーワード
講演名 2018-10-04 13:05
c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出
矢崎 花五月女 巧唐澤 嶺早大)・高柳真司名工大)・吉田憲司千葉大)・柳谷隆彦早大US2018-54
抄録 (和) 小型で高感度な生体高分子センサが求められている. ScAlN薄膜のc軸を傾斜させた共振子は横波モードで励振し液体中でも効率よく動作させることができる.さらに,c軸傾斜配向ScAlN薄膜は高い擬似横波の電気機械結合係数k’152を有するため共振ピークが大きくS/N比の高い測定が期待できる.本報告では,RFマグネトロンスパッタ法によりc軸傾斜配向擬似厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を作製し,バイオセンサとしての動作をストレプトアビジン-ビオチン反応を用いて確認した. 
(英) Miniature and highly sensitive biosensors are required. c-Axis tilted ScAlN film resonator is suitable for sensing biomolecules in liquid because they can exite quasi-shear mode. We fabricated the resonator using c-axis tilted ScAlN films. Higher k’152 value of ScAlN films makes it possible to improve signal to noise ratio. In this study, the streptavidin-biotin interactions were monitored by using the c-axis tilted ScAlN film quasi-shear mode resonators.
キーワード (和) バイオセンサ / ScAlN / QCM / / / / /  
(英) biosensor / ScAlN / QCM / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 118, no. 229, US2018-54, pp. 31-35, 2018年10月.
資料番号 US2018-54 
発行日 2018-09-27 (US) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード US2018-54

研究会情報
研究会 US  
開催期間 2018-10-04 - 2018-10-04 
開催地(和) 東北大学 
開催地(英)  
テーマ(和) 一般(共催:東北大学電気通信研究所 超音波エレクトロニクス研究会、日本超音波医学会光超音波画像研究会、レーザー学会光音響イメージング技術専門委員会) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 US 
会議コード 2018-10-US 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) c-Axis tilted ScAlN film shear mode resonators for detection of biomolecular interactions in liquid 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) バイオセンサ / biosensor  
キーワード(2)(和/英) ScAlN / ScAlN  
キーワード(3)(和/英) QCM / QCM  
キーワード(4)(和/英) /  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 矢崎 花 / Hana Yazaki / ヤザキ ハナ
第1著者 所属(和/英) 早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 五月女 巧 / Takumi Soutome / ソウトメ タクミ
第2著者 所属(和/英) 早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 唐澤 嶺 / Rei Karasawa / カラサワ レイ
第3著者 所属(和/英) 早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 高柳 真司 / Shinji Takayanagi / タカヤナギ シンジ
第4著者 所属(和/英) 名古屋工業大学 (略称: 名工大)
Nagoya Institute of Technology (略称: Nagoya Inst. Tech.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 吉田 憲司 / Kenji Yoshida / ヨシダ ケンジ
第5著者 所属(和/英) 千葉大学 (略称: 千葉大)
Chiba University (略称: Chiba Univ.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 柳谷 隆彦 / TakahikoYanagitani / ヤナギタニ タカヒコ
第6著者 所属(和/英) 早稲田大学 (略称: 早大)
Waseda University (略称: Waseda Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2018-10-04 13:05:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 US 
資料番号 US2018-54 
巻番号(vol) vol.118 
号番号(no) no.229 
ページ範囲 pp.31-35 
ページ数
発行日 2018-09-27 (US) 


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