| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 講演論文 詳細 |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
| トップに戻る | 前のページに戻る | [Japanese] / [English] |
| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-10-24 14:00 ボルケーノ構造スピント型エミッタアレイの動作チップ数の向上 新谷英世・○村田英一・池田貴大・六田英治・下山 宏（名城大）・長尾昌善・村上勝久（産総研）  ED2018-26 |
|
| 抄録 | （和） | これまで我々は、フィールドエミッタアレイ（FEA）の動作状態のリアルタイム観察が可能なマルチエミッタ評価用SEEM/PEEM装置の開発を行い、本装置によるFEAのSEEM / FEEM像およびPEEM / FEEM像の同時観察および個々のチップの放出電流測定について報告してきた。今回、ボルケーノ構造スピント型エミッタにおいて、比較的高めの電圧によるエージング処理を実施することで、FEAの動作チップ数を大幅に改善できることを見出し、また、エージング電圧との関係を定量的にも確認することができたので、その旨を報告する。 |
| （英） | We have developed an electron optical instrument for evaluation of multi emitters. The instrument enables us to obtain quantitative knowledge as to the percentage of actually active tips out of the whole tips and to evaluate a stability of the emission current from each individual active tip. In this study, volcano-structured Spindt-type field emitter arrays are observed in PEEM and FEEM modes using the instrument. Also, an emission current measurement from each individual active tip in the field emitter arrays was performed. As a result, we have found that a number of active tips in the field emitter arrays can be significantly improved by using a relatively high voltage aging process. | |
| キーワード | （和） | フィールドエミッタアレイ / エージング / PEEM / FEEM / 放出電流 / 動作チップ / / |
| （英） | field emitter array / aging process / PEEM / FEEM / working ratio / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 263, ED2018-26, pp. 1-4, 2018年10月. | |
| 資料番号 | ED2018-26 | |
| 発行日 | 2018-10-17 (ED) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2018-26 |
|
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2018-10-24 - 2018-10-24 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 地下3階1号室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2018-10-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ボルケーノ構造スピント型エミッタアレイの動作チップ数の向上 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Improvements of a number of active tips and emission measurements from individual tips in volcano-structured Spindt-type field emitter arrays |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | フィールドエミッタアレイ / field emitter array |
| キーワード(2)（和/英） | エージング / aging process |
| キーワード(3)（和/英） | PEEM / PEEM |
| キーワード(4)（和/英） | FEEM / FEEM |
| キーワード(5)（和/英） | 放出電流 / working ratio |
| キーワード(6)（和/英） | 動作チップ / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 新谷 英世 / Hidetoshi Shinya / シンヤ ヒデトシ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村田 英一 / Hidekazu Murata / ムラタ ヒデカズ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 池田 貴大 / Takahiro Ikeda / イケダ タカヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 六田 英治 / Eiji Rokuta / ロクタ エイジ |
| 第4著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 下山 宏 / Hiroshi Shimoyama / シモヤマ ヒロシ |
| 第5著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長尾 昌善 / Masayoshi Nagao / ナガオ マサヨシ |
| 第6著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村上 勝久 / Katsuhisa Murakami / ムラカミ カツヒサ |
| 第7著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 講演者 | 第2著者 |
| 発表日時 | 2018-10-24 14:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2018-26 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.263 |
| ページ範囲 | pp.1-4 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-10-17 (ED) |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]