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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-11-29 15:40 ALD法を用いたフレキシブルフィルム上へのゼオライト薄膜の試作とイオン吸着特性評価 ○森 義晴・野口雄祐・鹿又健作・三浦正範・有馬 ボシール アハンマド・久保田 繁・廣瀬文彦（山形大）  ED2018-38 CPM2018-72 LQE2018-92 |
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| 抄録 | （和） | 近年ゼオライトは薄膜化により新分野への応用研究進んでいる。一般にゼオライト薄膜の成膜は水熱合成法が用いられる。我々はTris[dimethylamino]silane (TDMAS)、Trimethylaluminium (TMA)の二つの原料ガスとプラズマ励起加湿Arを用いて室温ALD法による成膜を確立した。本手法によりフレキシブルフィルムへのゼオライト薄膜の成膜を行い、アルミナシリカの特性を実証した。本結果により、ゼオライトをイオンセンサーやバイオセンサーといった電子デバイスへの応用の可能性を大きく広げた。更に、２種類の原料ガスを用いた室温原子層堆積を多重内部反射赤外吸収分光法によって評価し、その反応機構を調査した。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | 原子層堆積法 / ゼオライト / アルミナ / シリカ / プラズマ励起加湿アルゴン / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 331, CPM2018-72, pp. 27-30, 2018年11月. | |
| 資料番号 | CPM2018-72 | |
| 発行日 | 2018-11-22 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2018-38 CPM2018-72 LQE2018-92 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED LQE CPM |
| 開催期間 | 2018-11-29 - 2018-11-30 |
| 開催地（和） | 名古屋工業大学 |
| 開催地（英） | Nagoya Inst. tech. |
| テーマ（和） | 窒化物半導体光・電子デバイス、材料、関連技術、及び一般 |
| テーマ（英） | Nitride Semiconductor Devices, Materials, Related Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2018-11-ED-LQE-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ALD法を用いたフレキシブルフィルム上へのゼオライト薄膜の試作とイオン吸着特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development and ion absorption characterization of the zeolite films on flexible film using atomic layer deposition |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 原子層堆積法 / |
| キーワード(2)（和/英） | ゼオライト / |
| キーワード(3)（和/英） | アルミナ / |
| キーワード(4)（和/英） | シリカ / |
| キーワード(5)（和/英） | プラズマ励起加湿アルゴン / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 森 義晴 / Yoshiharu Mori / モリ ヨシハル |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野口 雄祐 / Yusuke Noguti / ユウスケ ノグチ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 有馬 ボシール アハンマド / Bashir A. Arima / アリマ ボシール アハンマド |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久保田 繁 / Shigeru Kubota / クボタ シゲル |
| 第6著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第7著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-11-29 15:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | ED2018-38, CPM2018-72, LQE2018-92 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.330(ED), no.331(CPM), no.332(LQE) |
| ページ範囲 | pp.27-30 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-11-22 (ED, CPM, LQE) |
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