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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2018-11-29 15:15 ナノインプリントによるモスアイ構造作製法に関する評価実験 ○平賀健太・久保田 繁・鹿又健作・有馬ボシールアハンマド・廣瀬文彦（山形大）  ED2018-37 CPM2018-71 LQE2018-91 |
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| 抄録 | （和） | 近年、ナノインプリントはナノメートルからマイクロメートルオーダーまでの微細なパターンを容易に複製できるため、注目されている技術である。光ナノインプリントは圧力プロセスが低く、昇温・冷却の熱サイクルがないことからスループットが高く、量産技術として期待されている。光ナノインプリントは微細な構造を有するモールド(型)を転写する際に、加圧しながらUV光を照射し、UV硬化樹脂を硬化させて微細な構造を複製する技術である。本研究では、光ナノインプリントによるモスアイ構造の作製方法を検討し、反射防止膜として一般的である周期350 nm、高さ320 nmのモスアイ構造を用い、それを光ナノインプリントで作製する。また、モールドを複数回転写すると劣化が進むが、その劣化がどこまで許容されるのかを調査した。 |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | ナノインプリント / 反射防止膜 / モスアイ構造 / / / / / |
| （英） | / / / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 331, CPM2018-71, pp. 21-26, 2018年11月. | |
| 資料番号 | CPM2018-71 | |
| 発行日 | 2018-11-22 (ED, CPM, LQE) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2018-37 CPM2018-71 LQE2018-91 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED LQE CPM |
| 開催期間 | 2018-11-29 - 2018-11-30 |
| 開催地（和） | 名古屋工業大学 |
| 開催地（英） | Nagoya Inst. tech. |
| テーマ（和） | 窒化物半導体光・電子デバイス、材料、関連技術、及び一般 |
| テーマ（英） | Nitride Semiconductor Devices, Materials, Related Technologies |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2018-11-ED-LQE-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ナノインプリントによるモスアイ構造作製法に関する評価実験 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Experiment and evaluation for the methods of nanoimprinting moth eye structure |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ナノインプリント / |
| キーワード(2)（和/英） | 反射防止膜 / |
| キーワード(3)（和/英） | モスアイ構造 / |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 平賀 健太 / Kenta Hiraga / ヒラガ ケンタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 久保田 繁 / Shigeru Kubota / クボタ シゲル |
| 第2著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata / カノマタ ケンサク |
| 第3著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 有馬 ボシールアハンマド / Bashir Ahmmad / アリマ ボシールアハンマド |
| 第4著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose / ヒロセ フミヒコ |
| 第5著者 所属（和/英） | 山形大学 (略称： 山形大) Yamagata University (略称： Yamagata Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-11-29 15:15:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | ED2018-37, CPM2018-71, LQE2018-91 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.330(ED), no.331(CPM), no.332(LQE) |
| ページ範囲 | pp.21-26 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2018-11-22 (ED, CPM, LQE) |
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