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| 講演名 | 2018-12-06 17:10 RAS(Radical Assisted Sputtering)法による(Er,Y)2Zr2O7結晶の作製と評価 ～ MiDex光増幅器材料 ～ ○宮城輝大・田中康仁・中村絃人・箕輪映友子・一色秀夫（電通大）  OPE2018-116 LQE2018-126 SIPH2018-32 |
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| 抄録 | （和） | 次世代の高密度波長分割多重(DWDM)通信に向けて中屈折率差領域でのSi Photonicsの研究(n=2.0~ : Mid refractive Index Contrast: MiDex)が進められている。MiDexのコア材料としてSi窒化物が有力候補であり、Si窒化物に対応した屈折率及び光増幅機能を持ったMiDex光増幅媒質を作製することで大規模集積が可能となる。我々は、PLD(Pulsed Laser Deposition)法を用いて、屈折率が約2.1であり、室温下で優れた発光特性持った欠陥蛍石構造の(Er,Y)2Zr2O7結晶の作製に成功した。本研究では、MiDex光増幅器作製に向けて、Layer by Layer堆積を高速かつ大面積にできるRAS(Radical Assisted Sputtering)法を用いて(Er,Y)2Zr2O7結晶の作製を行う。RAS法で試料を作製した結果、基板表面が平坦であり、優れた発光特性を持った屈折率2.08の(Er,Y)2Zr2O7結晶の作製に成功した。以上より、(Er,Y)2Zr2O7結晶はMiDex光増幅媒質として期待できる。 |
| （英） | Research on MiDex Si Photonics for DWDM communication is in progress. For large scale integration, fabrication of a MiDex optical amplifier is necessary. However, MiDex materials suitable for MiDex optical amplifier have not yet been reported. In this work, (Er,Y)2Zr2O7 crystals were fabricated by Radical Assisted Sputtering method. It was found that this crystal has a refractive index of 2.08, the substrate surface is flat, and has excellent emission characteristics. To sum up, (Er,Y)2Zr2O7 crystal can be expected as a MiDex optical amplifier material. | |
| キーワード | （和） | DWDM通信 / Silicon Photonics / MiDex / RAS / (Er,Y)2Zr2O7結晶 / / / |
| （英） | MiDex Si Photonics / DWDM communication / MiDex optical amplifier / RAS / (Er,Y)2Zr2O7 crystal / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 118, no. 348, OPE2018-116, pp. 93-96, 2018年12月. | |
| 資料番号 | OPE2018-116 | |
| 発行日 | 2018-11-29 (OPE, LQE, SIPH) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OPE2018-116 LQE2018-126 SIPH2018-32 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE OPE SIPH |
| 開催期間 | 2018-12-06 - 2018-12-07 |
| 開催地（和） | 慶應義塾大学 |
| 開催地（英） | Keio University |
| テーマ（和） | Photonic Device Workshop (半導体レーザ関連技術, パッシブデバイス技術, シリコンフォトニクス) |
| テーマ（英） | Photonic Device Workshop |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OPE |
| 会議コード | 2018-12-LQE-OPE-SIPH |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | RAS(Radical Assisted Sputtering)法による(Er,Y)2Zr2O7結晶の作製と評価 |
| サブタイトル（和） | MiDex光増幅器材料 |
| タイトル（英） | Evaluation of (Er,Y)2Zr2O7 crystal prepared by Radical Assisted Sputtering |
| サブタイトル（英） | Toward Optical Amplifiers for MiDex |
| キーワード(1)（和/英） | DWDM通信 / MiDex Si Photonics |
| キーワード(2)（和/英） | Silicon Photonics / DWDM communication |
| キーワード(3)（和/英） | MiDex / MiDex optical amplifier |
| キーワード(4)（和/英） | RAS / RAS |
| キーワード(5)（和/英） | (Er,Y)2Zr2O7結晶 / (Er,Y)2Zr2O7 crystal |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 宮城 輝大 / Kodai Miyagi / ミヤギ コウダイ |
| 第1著者 所属（和/英） | 電気通信大学 (略称： 電通大) The University of Electro-Communications (略称： UEC) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 田中 康仁 / Yasuhito Tanaka / タナカ ヤスヒト |
| 第2著者 所属（和/英） | 電気通信大学 (略称： 電通大) The University of Electro-Communications (略称： UEC) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中村 絃人 / Ghent Nakamura / ナカムラ ゲント |
| 第3著者 所属（和/英） | 電気通信大学 (略称： 電通大) The University of Electro-Communications (略称： UEC) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 箕輪 映友子 / Ayuko Minowa / ミノワ アユコ |
| 第4著者 所属（和/英） | 電気通信大学 (略称： 電通大) The University of Electro-Communications (略称： UEC) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 一色 秀夫 / Hideo Isshiki / イッシキ ヒデオ |
| 第5著者 所属（和/英） | 電気通信大学 (略称： 電通大) The University of Electro-Communications (略称： UEC) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2018-12-06 17:10:00 |
| 発表時間 | 80分 |
| 申込先研究会 | OPE |
| 資料番号 | OPE2018-116, LQE2018-126, SIPH2018-32 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | no.348(OPE), no.349(LQE) |
| ページ範囲 | pp.93-96 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-11-29 (OPE, LQE, SIPH) |
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